[实用新型]线性蒸发源及连续式蒸镀设备

权利要求书

1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：

坩埚(10)，用于容纳材料并对所述材料进行第一次蒸发；

第一加热器(20)，用于加热所述坩埚(10)；

喷射管(30)，所述喷射管(30)与所述坩埚(10)连通，用于对所述材料进行第二次蒸发，且所述喷射管(30)包括管本体(32)以及若干个喷嘴(31)，所述若干个喷嘴(31)沿所述管本体(32)的长度方向排列于所述管本体(32)上，所述喷嘴(31)用于将经过第二次蒸发的所述材料喷出；

第二加热器(40)，用于对所述喷射管(30)进行加热。

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述坩埚(10)包括坩埚本体和坩埚盖，所述坩埚本体的一端开设有敞口，所述坩埚盖盖设于所述敞口上，所述坩埚盖开设有通孔，所述管本体(32)为一端封闭且另一端开口的圆柱体管道，所述管本体(32)的开口与所述坩埚盖的通孔对接。

3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，所述线性蒸发源还包括一端封闭且另一端开口的第一屏蔽罩(50)，所述坩埚(10)设置于所述第一屏蔽罩(50)内，所述第一加热器(20)设置于所述坩埚(10)与所述第一屏蔽罩(50)之间。

4.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，所述线性蒸发源还包括第二屏蔽罩(60)，所述第二屏蔽罩(60)的两端开口且沿长度方向上开设有第一长槽(61)，所述管本体(32)设置于所述第二屏蔽罩(60)内，且所述喷嘴(31)伸出于所述第一长槽(61)外，所述第二加热器(40)设置于所述第二屏蔽罩(60)和所述管本体(32)之间。

5.根据权利要求4所述的线性蒸发源，其特征在于，所述线性蒸发源还包括第三屏蔽罩(70)，所述第三屏蔽罩(70)的两端开口且沿长度方向上开设有第二长槽(71)，所述第三屏蔽罩(70)套设于所述第二屏蔽罩(60)外，所述喷嘴(31)伸出于所述第二长槽(71)之外。

6.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第一加热器(20)和/或所述第二加热器(40)为电阻式加热器。

7.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，若干个所述喷嘴(31)间隔设置且呈同一直线排列。

8.根据权利要求7所述的线性蒸发源，其特征在于，相邻两个所述喷嘴(31)的间距为10mm至100mm。

9.一种连续式蒸镀设备，其特征在于，包括若干个相互连通的真空镀膜腔(80)、传送机构(90)和权利要求1至8任一项所述的线性蒸发源，所述传送机构(90)用于传输待蒸镀样品(100)，使得所述待蒸镀样品(100)在若干个所述真空镀膜腔(80)之间往复运动，所述线性蒸发源设置于所述真空镀膜腔(80)内，且所述喷嘴(31)朝向所述待蒸镀样品(100)。

10.根据权利要求9所述的连续式蒸镀设备，其特征在于，所述连续式蒸镀设备还包括设于所述真空镀膜腔(80)内的厚度检测仪(110)，所述厚度检测仪(110)用于检测所述待蒸镀样品(100)的镀膜厚度。