[实用新型]一种具有导热件的热蒸发坩埚组件

权利要求书

1.一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：包括坩埚本体(1)及导热件(2)，所述坩埚本体(1)设有腔体(11)，所述导热件(2)嵌于所述腔体(11)内且与所述腔体(11)表面接触以进行热量传递，所述导热件(2)上设有多个在高度方向连通的气体蒸发通道，所述气体蒸发通道用于导出所述坩埚本体(1)内产生的蒸发原料气体。

2.根据权利要求1所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热件(2)的底部和侧部分别与所述腔体(11)的底部和侧壁接触。

3.根据权利要求2所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热件(2)由导热丝堆叠形成且具有弹性，使得嵌入所述腔体(11)时与所述腔体(11)表面弹性挤压接触。

4.根据权利要求3所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热件(2)在所述腔体(11)内的堆叠高度占所述腔体(11)深度的1/3～4/5。

5.根据权利要求4所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热件(2)由可弯折的弹簧结构多次弯曲层叠形成丝网状三维体。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热件(2)由导热金属或陶瓷材料或复合材料制成。

7.根据权利要求6所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热金属选自铜、金、银、钽、钼、钨。

8.根据权利要求6所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述陶瓷材料为石墨、石英、氧化铝、碳纤维、热解氮化硼、碳化硅。

9.根据权利要求6所述的具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热件(2)为表面镀附有陶瓷薄膜的金属导热件，或表面镀附有金属薄膜的陶瓷导热件。