[实用新型]一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件

权利要求书

1.一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：包括坩埚(1)及设于坩埚(1)内用于导热的网栅导热件(2)，所述网栅导热件(2)包括具有多孔结构的导热网栅(21)和设于所述导热网栅(21)外围一周的侧导热件(22)，所述侧导热件(22)的外壁紧贴所述坩埚(1)的内壁以进行热量传递，所述导热网栅(21)上的多孔用于导出所述坩埚(1)内产生的蒸发原料气体。

2.根据权利要求1所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述网栅导热件(2)由多个导热杆间隔交错连接形成，并形成多个间隔的孔。

3.根据权利要求1所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：每个所述网栅导热件(2)包括多个导热网栅(21)，多个导热网栅(21)上下堆叠设置，且分别与所述侧导热件(22)连接。

4.根据权利要求3所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述网栅导热件(2)设有多个，多个所述网栅导热件(2)上下堆叠设置。

5.根据权利要求4所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：堆叠设置的多个所述网栅导热件(2)的外壁和底部分别与所述坩埚(1)的内壁和与内壁相连的底部接触。

6.根据权利要求5所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：堆叠设置的多个所述网栅导热件(2)在所述坩埚(1)内的堆叠高度占所述坩埚(1)内深度的1/3～4/5。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述网栅导热件(2)由导热金属或陶瓷材料或复合材料制成。

8.根据权利要求7所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述导热金属选自铜、金、银、钽、钼、钨，和/或，所述陶瓷材料选自石墨、石英、氧化铝、碳纤维、热解氮化硼、碳化硅。

9.根据权利要求7所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述复合材料为金属陶瓷复合材料。

10.根据权利要求7所述的具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：所述网栅导热件(2)通过3D打印加工而成。