[实用新型]一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构

说明书

本实用新型公开了一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构，包括真空管，所述真空管的顶部中心处设置有防爆阀，所述真空管的顶部右侧和底部左侧均设置有六角水管接头，所述真空管的底部左右两侧对称设置有第一真空计，所述真空管的左侧连通有气动高真空挡板阀，所述气动高真空挡板阀的底部设置有冷阱，所述冷阱的底部设置有扩散阀，所述旁管接头的顶部连接有第一气动真空挡板阀，所述四通管的顶部连通有第二气动真空挡板阀。本实用新型结构设计合理，一方面通过设置的冷阱可以防止扩散泵返油和降温，降低由于扩散泵的返油和降温对气动高真空挡板阀的工作造成影响，另一方面运转过程中设置两个真空挡板阀进行微调，便于对抽气工作进行调节作用。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石长晶设备技术领域，尤其涉及一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构。

背景技术

蓝宝石，是刚玉宝石中除红色的红宝石之外，其它颜色刚玉宝石的通称，主要成分是氧化铝(Al2O3)。蓝色的蓝宝石，是由于其中混有少量钛(Ti)和铁(Fe)杂质所致；蓝宝石的颜色，可以有粉红、黄、绿、白、甚至在同一颗石有多种颜色。蓝宝石的产地在中国山东昌乐、泰国、斯里兰卡、马达加斯加、老挝、柬埔寨，其中最稀有的产地应属于克什米尔地区的蓝宝石，而缅甸是现今出产上等蓝宝石最多的地方。

随着社会的发展，自然生长的蓝宝石已经无法满足社会生产的需要，进而使得人造蓝宝石应运而生，在蓝宝石长晶设备包括生长炉和真空系统等，现有的大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构中大多为设置冷阱，这样扩散泵工作时，容易产生返油和降温，对气动高真空挡板阀的工作造成影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构，通过设置的冷阱可以防止扩散泵返油和降温，降低由于扩散泵的返油和降温对气动高真空挡板阀的工作造成影响。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现：

一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构，包括真空管，所述真空管的顶部中心处设置有防爆阀，所述真空管的顶部右侧和底部左侧均设置有六角水管接头，所述真空管的右侧设置有密封圈，所述真空管的底部中心处设置有高真空微调阀，所述真空管的底部左右两侧对称设置有第一真空计，且左侧第一真空计位于底部六角水管接头的右侧；

所述真空管的左侧连通有气动高真空挡板阀，所述气动高真空挡板阀的底部设置有冷阱，所述冷阱的底部设置有扩散阀，所述扩散阀的左侧连通有旁管接头，所述旁管接头的顶部连接有第一气动真空挡板阀，所述第一气动真空挡板阀的左侧连通有三通管，所述三通管的顶部设置有第二真空计，所述三通管的左侧连接有四通管，所述四通管的顶部连通有第二气动真空挡板阀。

优选地，上述大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构中，所述真空管和冷阱均为双层式结构。

优选地，上述大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构中，所述冷阱的内腔设置有内套，所述内套的与冷阱之间设置有冷却腔，所述冷阱的左侧壁设置有进水管，所述冷阱的右侧壁设置有排水管，且进水管和排水管均与冷却腔相连通。

优选地，上述大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构中，所述进水管和排水管上均设置有电磁调节阀。

优选地，上述大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构中，所述第一真空计和高真空微调阀均通过卡箍与真空管相连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构设计合理，一方面通过设置的冷阱可以防止扩散泵返油和降温，降低由于扩散泵的返油和降温对气动高真空挡板阀的工作造成影响，另一方面运转过程中设置两个真空挡板阀进行微调，便于对抽气工作进行调节作用。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明