[实用新型]抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统有效
申请号: | 201721747479.0 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN207636278U | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 闫亚东;何俊华;张敏;韦明智;薛艳博;许瑞华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 陈广民 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 漫反射板 背向散射光 测量系统 成像镜头 隔离屏 本实用新型 杂散光干扰 测量装置 取样装置 一次像面 真空靶室 室内壁 散射 靶点 光学测量技术 测量窗口 穿透测量 激光通道 漫反射光 反方向 漫反射 通光孔 杂散光 屏蔽 附着 光路 球壁 入射 杂光 成像 激光 室内 诊断 | ||
1.一种抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统,包括取样装置和测量装置,其特征在于:所述取样装置包括球状真空靶室和成像镜头,所述球状真空靶室内设置有靶点和带有打靶激光通道的漫反射板,所述漫反射板附着于球状真空靶室内壁上;所述球状真空靶室的球壁上设置有测量窗口;打靶激光入射靶点产生的近背向散射光沿打靶反方向散射后由漫反射板产生漫反射,漫反射光穿透测量窗口后再通过成像镜头进入测量装置;所述成像镜头将漫反射板成像于一次像面,一次像面所在的平面上设置有隔离屏,所述隔离屏带有多个通光孔。
2.根据权利要求1所述的抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统,其特征在于:所述测量装置包括沿光路传播方向依次设置的缩束正透镜和二向色镜;所述二向色镜将光谱分离后,长波被透射进入长波透射光测量单元,短波被反射进入短波反射光测量单元。
3.根据权利要求2所述的抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统,其特征在于:所述长波透射光测量单元的长波取样测试像面上设置有长波光吸收陷阱。
4.根据权利要求2所述的抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统,其特征在于:所述短波反射光测量单元的短波取样测试像面上设置有短波光吸收陷阱。
5.根据权利要求1-4中任一所述的抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统,其特征在于:所述漫反射板为异形漫反射板。
6.根据权利要求5所述的抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统,其特征在于:所述成像镜头与测量窗口之间设置有取样光阑。
7.根据权利要求6所述的抗杂散光干扰的近背向散射光测量系统,其特征在于:所述异形漫反射板为椭球面漫反射白板,所述靶点位于椭球面漫反射白板的一个焦点上,所述取样光阑中心位于椭球面漫反射白板的另一个焦点上。
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