[实用新型]一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置，包括：用于向衬底溅射的靶材；位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元，所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。通过在靶材与衬底之间设置阻挡单元，可通过阻挡单元对靶材特定部位进行阻挡，使得被阻挡部位溅射到衬底上形成膜层的厚度得以降低，即通过灵活设置阻挡单元的位置，使得衬底上溅射形成的膜层厚度一致性较好，提高膜层的均匀性，从而满足产业化生产的实际需要。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池加工领域，尤其涉及一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置。

背景技术

柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池具有质量轻、抗辐射能力强、稳定性好等优势。其与卷对卷(roll to roll)技术相结合，适于大规模生产，可显著降低材料成本和制造成本。

窗口层既是CIGS太阳能电池异质结n型区的核心部分，又是电池功率输出的主要通道。窗口层即为溅射在衬底上的膜层，窗口层的均匀性对电池转换效率和产品良率尤为重要。在实际产业化生产过程中，由于靶材特性，溅射气体分布以及靶内磁场分布等原因，所制备的窗口层厚度均匀性不理想。通过在镀膜后的衬底上测量窗口层厚度，可以看到该膜层厚度中间部分偏厚，上下两边偏薄，均匀性偏差较大，不能满足产业化生产的实际需要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置，以解决现有技术中的问题，提高衬底上膜层的均匀度。

本实用新型提供了一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置，所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置包括：

用于向衬底溅射的靶材；

位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元，所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。

作为优选，所述阻挡单元相对所述靶材固定，且所述阻挡单元在所述靶材上的正投影位于所述靶材的中部。

作为优选，所述阻挡单元的长度占所述靶材长度的50％-75％。

作为优选，所述靶材设置有四块，四块靶材沿着一字排列，所述阻挡单元设置在排列方向上位于末端的靶材处。

作为优选，所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置还包括用于容纳所述靶材的靶仓。

作为优选，所述靶仓内设置有用于容纳所述靶材的容纳槽，所述靶仓靠近衬底的一侧设置有与所述容纳槽连通的开口。

作为优选，所述阻挡单元固定在所述靶仓设有所述开口的一侧，且所述阻挡单元覆盖在所述开口的中部。

作为优选，所述阻挡单元通过螺钉固定在所述靶仓上。

作为优选，所述阻挡单元的宽度大于等于所述开口的宽度，且所述阻挡单元的长度占所述开口长度的50％-75％。

作为优选，所述阻挡单元为挡板，所述挡板上设置有防腐蚀膜层。

本实用新型提供的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，通过在靶材与衬底之间设置阻挡单元，可通过阻挡单元对靶材特定部位进行阻挡，使得被阻挡部位溅射到衬底上形成膜层的厚度得以降低，即通过灵活设置阻挡单元的位置，使得衬底上溅射形成的膜层厚度一致性较好，提高膜层的均匀性，从而满足产业化生产的实际需要。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的用于太阳能电池的溅射镀膜装置的俯视图；

图2为本实用新型又一实施例提供的用于太阳能电池的溅射镀膜装置的正视图。

附图标记说明：

1-靶材，2-阻挡单元，3-衬底，4-靶仓，5-螺钉。

具体实施方式