[实用新型]一种可实现精密温度控制的测试夹具平台有效
申请号: | 201721752799.5 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN207528778U | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 黄日新;王萌 | 申请(专利权)人: | 镭神技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G05D23/24 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 谭雪婷;高早红 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 温控 固定座 测试夹具 基板 精密 半导体制冷器 本实用新型 安装螺栓 夹具平台 热敏电阻 底座 自动化生产设备 温度一致性 自动化生产 高稳定性 基板内部 散热问题 设备提供 温度反馈 温度需求 自动切换 水冷板 水冷 | ||
本实用新型涉及自动化生产设备领域,特别涉及一种可实现精密温度控制的测试夹具平台,包括固定座、半导体制冷器、温控基板、热敏电阻、水冷和温控台底座,温控基板通过安装螺栓固定连接于固定座上部,半导体制冷器设置于固定座内部,热敏电阻设置于所述温控基板内部,用于实现温控基板的温度反馈,温控台底座通过安装螺栓固定连接于固定座下部,水冷板设置于固定座内部。与现有技术相比,本实用新型的可实现精密温度控制的测试夹具平台可以为设备提供整个夹具平台极高的温度一致性,并实现不同温度需求之间的自动切换,很好地满足自动化生产的要求;很好地解决非温度控制部位的高温散热问题,以实现夹具平台的高精度和高稳定性。
【技术领域】
本实用新型涉及自动化生产设备领域,特别涉及一种可实现精密温度控制的测试夹具平台。
【背景技术】
目前市场上没有专门针对芯片测试的高精度的温度控制平台,无法实现高机械精度,高精密温度控制,无法解决高温散热的问题。
【实用新型内容】
为了克服上述问题,本实用新型提出一种可有效解决上述问题的可实现精密温度控制的测试夹具平台。
本实用新型解决上述技术问题提供的一种技术方案是:提供一种可实现精密温度控制的测试夹具平台,包括固定座、半导体制冷器、温控基板、热敏电阻、水冷板和温控台底座,所述温控基板通过安装螺栓固定连接于所述固定座上部,所述半导体制冷器设置于固定座内部,所述热敏电阻设置于所述温控基板内部,用于实现温控基板的温度反馈,所述温控台底座通过安装螺栓固定连接于所述固定座下部,所述水冷板设置于固定座内部。
优选地,所述半导体制冷器位于温控基板与固定座之间,通过温控基板与固定座夹持固定。
优选地,所述水冷板位于温控台底座与固定座之间,通过温控台底座与固定座夹持固定。
优选地,所述温控基板的上表面为水平面。
优选地,所述水冷板内部设置冷却水通道。
与现有技术相比,本实用新型的可实现精密温度控制的测试夹具平台可以为设备提供整个夹具平台极高的温度一致性,并实现不同温度需求之间的自动切换,以此很好地满足自动化生产的要求;很好地解决非温度控制部位的高温散热问题,以实现夹具平台的高精度和高稳定性。
【附图说明】
图1为本实用新型一种可实现精密温度控制的测试夹具平台的结构爆炸图。
【具体实施方式】
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施实例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
需要说明,本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅限于指定视图上的相对位置,而非绝对位置。
另外,在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
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