[实用新型]硅料切割液回收供液系统

权利要求书

1.硅料切割液回收供液系统，其特征在于，其包括若干个成品液罐、至少一台线切机、收集罐、压滤机、清液罐和事故池，每个所述成品液罐的出口分别通过供液阀依次与供液泵的进口连接，所述供液泵的出口与所述线切机的切割液进口，所述线切机的切割液出口与所述收集罐的进口连接，所述收集罐的出口通过增压泵与所述压滤机的进口连接，所述压滤机的滤液出口与所述清液罐的进口连接，所述清液罐的出口通过中转泵与每个所述成品液罐的进口连接，所述中转泵出口至每个所述成品液罐进口之间的管道上均设有一个进液阀；每个所述成品液罐的排液口分别通过排液阀与事故管道的进口连接，所述事故管道上依次设有事故泵和事故单向阀，所述事故管道的出口通过事故阀与所述事故池的进口连接，所述事故管道的出口还通过收集阀与所述收集罐连接。

2.根据权利要求1所述的硅料切割液回收供液系统，其特征在于，其还包括有控制器，在每个所述成品液罐内设有在线电导率仪和在线浊度仪，每个所述成品液罐内的所述在线电导率仪、所述在线浊度仪分别与所述控制器信号连接，所述控制器分别与对应的所述成品液罐的所述供液阀、所述排液阀信号连接；所述控制器还与所述供液泵、所述增压泵、所述事故泵、所述事故单向阀、所述事故阀及所述收集阀信号连接。

3.根据权利要求1或2任一所述的硅料切割液回收供液系统，其特征在于，所述中转泵的出口通过清液总管与每个所述进液阀的进口连接，在所述清液总管上设有进液总阀。

4.根据权利要求3所述的硅料切割液回收供液系统，其特征在于，所述压滤机的滤液出口至所述清液罐的进口之间的管路上设有清液阀。

5.根据权利要求1、2或4任一所述的硅料切割液回收供液系统，其特征在于，在所述事故泵进口一侧的所述事故管道上设有进阀，在所述事故单向阀出口一侧的所述事故管道上设有关断阀。