[实用新型]一种排泡显影槽

说明书

本实用新型涉及低温多晶硅显示器技术领域，尤其涉及一种排泡显影槽。它包括显影槽本体和气泡槽，所述显影槽本体和气泡槽之间通过U型管连接。U型管能够有效的减缓显影过后的显影液回流至显影槽的速率，有效的抑制显影液在显影槽中产生气泡。同时U型管右端管口直径大于进液管，从而使得气泡可以在溢流口溢出，所述的气泡槽底端设有气泡槽排泡管，及时将气泡槽内的气泡排出。在显影槽本体内设有无泡区域，无泡区域内设有排液管。保证显影槽本体内的少量气泡都被隔离在无泡区域外，从显影槽排出的显影液都不带气泡。

技术领域

本实用新型涉及低温多晶硅显示器技术领域，尤其涉及一种排泡显影槽。

背景技术

在LTPS制程中，显影液通过显影机台喷嘴均匀涂敷在玻璃基板上，在与光刻胶发生化学反应会沿着回收管路回流至显影槽中，由于水流的冲击作用显影液会在回收管路中产生诸多气泡，而这些气泡会随着显影液不断流入显影槽中。当显影机台对玻璃基板再次进行涂覆显影时，这些气泡会随着显影液而依附在玻璃基板表面，影响显影涂敷的均匀性，从而导致胶残留等缺陷，进而使得玻璃基板的不良率严重上升。

实用新型内容

针对现有显影液有气泡，影响显影涂敷的均匀性的技术问题，本实用新型需解决的技术问题是提供一种排泡显影槽。

本实用新型需解决上述技术问题是通过以下技术方案实现的：一种排泡显影槽，包括显影槽本体和气泡槽，所述显影槽本体和气泡槽之间通过U型管连接。U型管能够有效的减缓显影过后的显影液回流至显影槽的速率，有效的抑制显影液在显影槽中产生气泡。

进一步：在上述排泡显影槽中，所述U型管的右端管口插入气泡槽，在右端管口上接入小口径进液管，在右端管口和进液管之间形成气泡溢流口。右端管口直径大于进液管，从而使得气泡可以在溢流口溢出。所述的气泡槽底端设有气泡槽排泡管。

在显影槽本体内设有聚气泡的横向档板。在显影槽本体内设有隔离气泡的纵向档板。所述的横向档板与纵向档板相连接，且与显影槽本体下部空间围成无泡区域。在横向档板上侧设有本体排泡管。所述U型管的左端管口与显影槽本体连接，且左端管口设在无泡区域外侧。所述的横向档板倾斜设置，有助于气泡流至排泡管。所述的无泡区域内设有排液管。

与现有技术相比，本实用新型的排泡显影槽，其显影槽本体和气泡槽之间通过U型管连接。U型管能够有效的减缓显影过后的显影液回流至显影槽的速率，有效的抑制显影液在显影槽中产生气泡。同时U型管右端管口直径大于进液管，从而使得气泡可以在溢流口溢出，所述的气泡槽底端设有气泡槽排泡管，及时将气泡槽内的气泡排出。在显影槽本体内设有无泡区域，无泡区域内设有排液管。U型管的左端管口与显影槽本体连接，且左端管口设在无泡区域外侧。显影槽本体的进液口设置在无泡区域外，且在横向档板上侧设有本体排泡管。且从而保证显影槽本体内的少量气泡都被隔离在无泡区域外，从显影槽排出的显影液都不带气泡。

附图说明

图1是本实用新型排泡显影槽的结构示意图；

图2是本实用新型气泡槽放大结构示意图；

其中：1显影槽本体、2气泡槽、3U型管、4进液管、5溢流口、6气泡槽排泡管、7横向档板、8纵向档板、9无泡区域、10本体排泡管、11排液管。

具体实施方式

参照附图及具体实施方式来说明本实用新型。