[实用新型]自带密封门的推送机构和带该机构的反应炉

说明书

本实用新型公开了一种自带密封门的推送机构，其包括水平布置的传送轨道（11）、受传送轨道驱动并沿轨道移动的基座（12），水平固定在基座上的悬臂（13），水平固定在悬臂顶端的可伸入反应炉炉膛中的硅片舟托架（2），所述悬臂上套接一个密封门（1）；本实用新型还公开了一种带所述推送机构的反应炉；与现有技术相比，本实用新型推送机构自带密封门，在将石墨舟推入炉膛的同时就封堵上炉膛门，加快了工艺进程，节省了推送机构进出一次炉膛的时间、和一段升温的时间，提高了反应炉产能；避免炉膛因开门时间过长而造成的热能流失，节约了大量能源。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产设备，尤其涉及一种自带密封门的推送机构，带有该机构的反应炉。

背景技术

随着新能源行业的发展，太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。PECVD设备是太阳能电池片镀减反射膜的主要设备。其工作原理是利用等离子增强化学气相沉积法给硅片镀上一层减反射膜。硅片镀膜需特殊的高温真空环境，需要将硅片放在石墨舟内，然后整体放入反应炉中密闭后进行工艺处理。PECVD设备完成一次存、取石墨舟，镀膜处理的总时间将决定了设备的产能。现有的工艺流程是：打开炉门，用一个托架将载有硅片的石墨舟送入炉膛，退出托架将石墨舟留在炉膛内，关上炉门，进行PECVD反应，待工艺完成后打开炉门，托架进入炉膛中托住石墨舟，托架后退将石墨舟取出，关上炉门对炉膛进行保温等待下一次工艺加工。

在这样一个工艺流程中，托架要反复进出炉膛二次，一是耗费时间减小产能；二是在工艺完成后打开炉门，托架进入炉膛的过程中，炉膛内温度很高，大量热能向外涌出，在下一次加工中待炉门关闭后需加温，等待温度重新升到反应需求的温度值，这造成能源的极大浪费，同时又增加了一个升温的时间。

故此业内亟需开发一种自带密封门的石墨舟推送机构，来加快推送时间，减少热能浪费。

实用新型内容

本实用新型是要解决现有技术的上述问题，提出一种自带密封门的石墨舟推送机构、带有该机构的反应炉。

为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案是设计一种自带密封门的推送机构，其包括：水平布置的传送轨道、受传送轨道驱动并沿轨道移动的基座，水平固定在基座上的悬臂，水平固定在悬臂顶端的可伸入反应炉炉膛中的硅片舟托架，所述悬臂上套接一个密封门。

所述密封门的端面上可以设置与反应炉炉膛密封的密封垫。

所述密封门的外周面上也可以设置与反应炉密封的密封圈。

所述硅片舟托架可承托石墨舟，所述反应炉为PECVD反应炉。

本实用新型还设计一种反应炉，其具有炉膛和铰接在炉膛口的炉膛门，具有自带密封门的推送机构，以及控制炉膛门启闭和推送机构往复推送的控制器。

所述炉膛门口还具有将密封门扣紧在炉膛口的锁紧装置，锁紧装置受所述控制器控制。

与现有技术相比，本实用新型推送机构自带密封门，在将石墨舟推入炉膛的同时就封堵上炉膛门，加快了工艺进程，节省了推送机构进出一次炉膛的时间、和一段升温的时间，提高了反应炉产能；避免炉膛因开门时间过长而造成的热能流失，节约了大量能源。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例推送机构的示意图；

图2为石墨舟未进炉膛示意图；

图3为石墨舟进入炉膛示意图；

图4为反应炉密封步骤流程图。

具体实施方式