[实用新型]导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器

说明书

本实用新型涉及一种导电薄膜，包括基材、过渡层及金属层。金属层通过过渡层与基材贴合，过渡层附着于基材的表面。粘接底漆层相当于现有导电膜中的底漆层，可与基材的表面紧密附着。而由于增强底漆层厚度比粘接底漆层大，故相较于现有的导电薄膜能有效地阻止低聚物析出。此外，增强底漆层可与金属层紧密附着。而且，粘接底漆层与增强底漆层材质相同，故两者之间的粘接力也较强。因此，金属层与基材之间贴合紧密，不易脱落。由此可见，上述导电薄膜在防止低聚物析出的同时，还能有效地避免金属层的附着力减小。此外，本实用新型还提供一种薄膜电阻应变式压力传感器。

技术领域

本实用新型涉及压感技术领域，特别涉及一种导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器。

背景技术

压力传感器(Pressure Transducer)是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。随着现代科技的飞速发展，对于压力传感器的性能指标、极端工作环境不断提出新的需求，这就导致薄膜电阻应变式压力传感器应运而生。

薄膜电阻应变式压力传感器一般包括衬底及附着于衬底表面，并由导电金属薄膜蚀刻而成的应变电阻。目前，形成上述应变电阻的导电金属薄膜一般包括基材，以及形成于基材两侧的金属层。为了增强基材与金属层之间的附着力，金属层与基材之间还涂覆有底漆层，底漆层可与基材及金属层的表面均附着紧密。

现有的导电金属薄膜的基材容易出现低聚物析出的现象，从而导致压力传感器的可靠性不高。为了防止低聚物析出，常见的方式是采用质地更硬、更密的膜层代替底漆层。然而，当采用更硬、更密的膜层代替底漆层后，又会导致基材与金属层之间的附着力变小，金属层易脱落。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种既能防止低聚物析出，还能防止金属层的附着力变小的导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器。

一种导电薄膜，其特征在于，包括：

基材，包括相对设置的第一表面及第二表面；

两个过渡层，分别附着于所述第一表面及第二表面，所述过渡层包括层叠设置的粘接底漆层及增强底漆层，且所述粘接底漆层与所述基材的表面贴合；及

两个金属层，分别附着于所述两个过渡层的所述增强底漆层的表面；

其中，所述粘接底漆层与所述增强底漆层均为亚克力系材质，且所述增强底漆层的厚度大于所述粘接底漆层的厚度。

上述导电薄膜，金属层通过过渡层与基材贴合，过渡层附着于基材的表面。粘接底漆层相当于现有导电膜中的底漆层，可与基材的表面紧密附着。而由于增强底漆层厚度比粘接底漆层大，故相较于现有的导电薄膜能有效地阻止低聚物析出。此外，增强底漆层可与金属层紧密附着。而且，粘接底漆层与增强底漆层均为亚克力系材质，故两者之间的粘接力也较强。因此，金属层与基材之间贴合紧密，不易脱落。由此可见，上述导电薄膜在防止低聚物析出的同时，还能有效地避免金属层的附着力减小。

此外，过渡层包括粘接底漆层及增强底漆层，硬度较低，故过渡层的杨氏模量较小。而且，虽然过渡层整体厚度较大，但过渡层为两层结构，故有利于释放内应力。因此，上述导电薄膜还能防止在冲切过程中发生龟裂。

在其中一个实施例中，所述基材为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜。

聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜即PET，是一种常见的有机材料。PET具有良好的耐热性、绝缘性、耐疲劳性及耐摩擦性，但透光性较差。而上述导电薄膜为非透明导电薄膜，对基材的透光性要求较低。因此，采用PET作为基材，能在有效地节约成本的同时，不降低产品品质。

在其中一个实施例中，所述粘接底漆层的厚度为10至200纳米，所述增强底漆层的厚度为300至2000纳米。