[实用新型]太阳能电池共蒸镀生产线有效
申请号: | 201721780279.5 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN207676897U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 林健;齐维滨;朱凯 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;C23C14/24 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 周放;解立艳 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 周转 底托 基板 蒸镀 太阳能电池 本实用新型 上料口 下料口 主控室 生产效率 蒸镀设备 自动循环 下线口 流转 上线 生产成本 自动化 电池 节约 加工 | ||
1.一种太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,包括:
底托周转线,所述底托周转线上设置有底托上线口和底托下线口;
基板周转线,所述基板周转线与共蒸镀设备相连,所述基板周转线上设置有上料口和下料口,所述上料口和所述下料口均与所述底托周转线相连;
主控室,用于控制所述底托周转线和所述基板周转线动作。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,还包括与所述底托周转线相连的基板上线装置和基板下线装置,所述基板上线装置用于向底托上输送基板,所述基板下线装置用于取走所述底托上的基板。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,还包括底托上线装置和底托下线装置,所述底托上线装置与所述底托上线口相连,用于向所述底托周转线上输送底托,所述底托下线装置与所述底托下线口相连,用于从所述底托周转线上回收所述底托。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,所述底托上线装置与所述底托下线装置相连。
5.根据权利要求2所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,所述基板上线装置和基板下线装置上均设置有驱动机构、翻转机构和夹持机构,所述驱动机构的输出端与所述翻转机构的一端相连,用于驱动所述翻转机构转动,所述翻转机构与所述夹持机构相连。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,所述夹持机构为真空吸盘,所述翻转机构上设置有真空泵,所述真空泵与所述真空吸盘相连。
7.根据权利要求5所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,还包括位置检测装置,所述位置检测装置分别设置在所述基板上线装置和基板下线装置上。
8.根据权利要求5所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,所述底托包括相互垂直的纵梁和横梁,所述纵梁和所述横梁之间构成两个以上用于放置基板的共蒸镀区域。
9.根据权利要求1所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,所述基板周转线包括基板上料线和基板下料线,所述基板上料线与所述共蒸镀设备的输入端相连,所述基板下料线与所述共蒸镀设备的输出端相连;所述上料口设置在所述基板上料线上,所述下料口设置在所述基板下料线上。
10.根据权利要求9所述的太阳能电池共蒸镀生产线,其特征在于,所述基板上料线上设置有多个输入线,每个所述输入线均与一个所述共蒸镀设备的输入端相连,所述基板下料线上设置有多个输出线,每个所述输出线均与一个所述共蒸镀设备的输出端相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造