[实用新型]一种晶圆盘定位装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆盘定位装置，包括支撑架和用于定位晶圆盘的定位块，支撑架内侧定位面的横截面的中心为定位中心，定位面用于与校准装置定位贴合连接，在定位状态下定位中心与校准装置的中心重合；定位块设于支撑架的上端面，定位块至少有两个且每个定位块到定位中心的距离均相同。本实用新型公开的晶圆盘定位装置在进行校准之前，使晶圆盘和校准装置同心得放置在一起，减小了晶圆盘与校准装置的偏心距离，提高了校准前晶圆盘在校准装置上的定位精度，同时提高校准效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆盘定位装置。

背景技术

随着科技产业的发展，半导体行业扮演着越来越重要的角色，其中晶圆的封测是半导体行业中的关键工艺过程。在晶圆的封测中，通常利用搬运装置将晶圆盘从晶圆盒中搬运至晶圆校准装置上方，校准装置通过负压真空吸附住晶圆盘，并带动晶圆盘移动至传感器的检测位置，进行旋转校准。

然而在上述操作过程中，搬运装置置于晶圆盘上方，无法确定晶圆盘与校准装置的相对位置，可能导致晶圆盘与校准装置的产生较大的偏差。如果晶圆盘与校准装置的偏心距较大，则在后续的校准过程中无法进行准确校准，甚至可能造成晶圆盘与传感装置碰撞，从而导致晶圆盘发生脆性断裂，传感装置受损，造成经济损失。

综上所述，如何提供一种能够提高晶圆盘校准精度的晶圆盘定位装置，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种晶圆盘定位装置，能够提高校准前晶圆盘在校准装置上的定位精度、提高校准效率。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆盘定位装置，包括：

支撑架，其内侧的定位面用于与校准装置定位贴合连接，所述定位面横截面的中心为定位中心，在定位状态下所述定位中心与所述校准装置的中心重合；

用于定位晶圆盘的定位块，设于所述支撑架的上端面，所述定位块至少有两个，且所述定位块到所述定位中心的距离均相同。

优选的，所述定位面为U型面，所述定位中心为所述U型面的圆弧部分的圆心。

优选的，所述支撑架的外侧壁设有支撑杆，所述定位块设在所述支撑杆上。

优选的，所述定位块沿靠近或远离所述定位中心的方向与所述支撑杆可滑动地连接，所述支撑杆上设有用于标注所述定位块相对于所述定位中心的位置的标识，以确保所述定位块在滑动过程中到所述定位中心的距离均处于相同状态。

优选的，所述支撑杆上设有用于限制所述定位块滑动范围的凹槽。

优选的，所述外侧壁设有两个支撑杆，所述定位块的数量为两个，且分别设于两个所述支撑杆上。

优选的，两个所述支撑杆垂直设置。

优选的，还包括便于拿取所述晶圆盘定位装置的手柄，所述手柄通过手柄支架与所述支撑架连接。

优选的，所述手柄和所述手柄支架可拆卸地连接。

优选的，所述定位块设有用于支撑晶圆盘的台阶面，所述支撑架设有用于支撑晶圆盘的垫块，所述垫块的高度与所述台阶面的高度保持一致。

本实用新型提供的晶圆盘定位装置包括支撑架和用于定位晶圆盘的定位块，支撑架内侧的定位面用于与校准装置定位贴合连接，定位面横截面的中心为定位中心，在定位状态下定位中心与校准装置的中心重合；定位块设于支撑架的上端面，定位块至少有两个，且每个定位块到定位中心的距离均相同。