[实用新型]一种滤光片剥离机构

权利要求书

1.一种滤光片剥离机构，其特征在于，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；

所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述X轴导轨不在同一水平面上；

所述旋转机构与所述张紧机构外啮合连接，所述旋转机构与所述Y轴导轨滑动连接；

所述顶升机构与所述X轴导轨滑动连接；

所述视觉模块设置于所述张紧机构的上部，所述视觉模块：用于定位晶圆盘中晶圆；

所述顶升机构包括顶升座、固定于所述顶升座上的顶升套筒、一晶圆盘吸嘴、第一顶针、第二顶针、第三顶针和顶针座；

所述第一顶针、所述第二顶针及所述第三顶针皆设有一固定端及一顶起端，所述第一顶针的固定端、所述第二顶针的固定端及所述第三顶针的固定端皆固定于所述顶针座上；

所述晶圆盘吸嘴设置于所述顶升套筒的一端，且所述晶圆盘吸嘴中间设有一顶升孔，所述第一顶针的顶起端、所述第二顶针的顶起端及所述第二顶针的顶起端能够自所述顶升孔中伸出并高于所述顶升孔的上平面；

所述第一顶针的高度、所述第二顶针的高度及所述第三顶针的高度有高度差。

2.根据权利要求1所述的滤光片剥离机构，其特征在于，所述高度差为0.1-0.3mm。

3.根据权利要求2所述的滤光片剥离机构，其特征在于，所述高度差为0.2mm。

4.根据权利要求1所述的滤光片剥离机构，其特征在于,所述张紧机构包括盖板、套环、张紧环、转盘、驱动齿轮及旋转盘安装板；所述盖板为弧形，所述盖板与所述套环卡接固定，所述盖板与所述套环之间嵌有晶圆盘；

所述套环的内径大于所述张紧环的内径，所述张紧环套接于所述套环与所述转盘之间；

所述张紧环：用于升降晶圆盘的高度；

所述转盘边缘上设有一垂直于所述转盘上表面的齿轮条，所述驱动齿轮与所述齿轮条外啮合。

5.根据权利要求4所述的滤光片剥离机构，其特征在于,所述张紧环通过3个丝杆螺母与转盘连接，3个所述的丝杆螺母通过同卡带连接一同步轮，所述同步轮与一驱动电机相连。

6.根据权利要求1-5任一项所述的滤光片剥离机构，其特征在于,所述旋转机构与所述张紧机构啮合处的外部还罩有一罩体；所述罩体固定于所述张紧机构上。

7.根据权利要求1所述的滤光片剥离机构，其特征在于,所述X轴导轨包括一X轴电机及一X轴滑动导轨，所述顶升座卡接在所述X轴滑动导轨上，所述X轴电机与所述顶升座通过一同步带相连。