[实用新型]一种槽式硅片制绒机台载具

说明书

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种槽式硅片制绒机台载具，包括：载具主体，载具主体的两个侧壁上分别设置一个连接杆，每个连接杆可绕连接在载具主体的一端转动；每个连接杆未连接载具主体的一端分别与一压杆连接，压杆套设在两根连接杆之间；于载具主体的两个侧壁上设置一工作位，两个工作位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，连接杆带动压杆放置在所述工作位上；于载具主体的两个侧壁上设置一闲置位，两个闲置位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，连接杆带动压杆放置在闲置位上。解决了压杆放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染的问题，并且节约了制程时间，提高了产品的生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种槽式硅片制绒机台载具。

背景技术

在晶硅太阳能电池的生产中，硅片的槽式制绒机台，需使用特定具有良好脱水性的载具。受药液循环的影响，硅片易在载具中移动导致异常发生，所以载具一般都必须使用压杆与之配合。当进入机台前，将压杆压在载具上方，压杆下方的牙齿将硅片分隔开防止相邻硅片接触，同时压杆也起到固定作用，防止硅片制绒过程中上下移动；在进机台前的装片和出机台后的取片时，均需将压杆取下，方可顺利装片、取片进行下一制程，压杆取下后放置在特定位置。

目前的这种方式主要有以下几个问题：1、压杆取下后，放置在压杆放置台上的过程中，易导致压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染问题。2、制绒前后均需将产品移至压杆放置台附近，进行加、取压杆动作，增加了操作工的工作量，增加了制程时间。

发明内容

本实用新型提供了一种槽式硅片制绒机台载具，通过改变载具结构，减少压杆放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损和污染，同时简化操作，提高效率节约时间。

本实用新型提供了一种槽式硅片制绒机台载具包括：

载具主体，所述载具主体的两个侧壁上分别设置一个连接杆，每个所述连接杆可绕连接在所述载具主体的一端转动；

每个所述连接杆未连接所述载具主体的一端分别与一压杆连接，所述压杆套设在两根所述连接杆之间；

于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一工作位，两个所述工作位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述工作位上；

于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一闲置位，两个所述闲置位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述闲置位上。

所述连接杆包括：

第一连接管，一端与所述载具主体连接，所述第一连接管的另一端与一第二连接管套接在一起；

所述第二连接管与所述压杆连接。

所述连接杆未连接所述载具主体的一端与所述压杆可转动连接。

所述工作位为开口向上的椭圆凹槽。

所述闲置位为开口向上的椭圆凹槽。

所述工作位和所述闲置位的槽口为倒角形状。

所述连接杆关于所述载具主体呈中心线对称设置。

所述第一连接管的直径大于所述第二连接管的直径。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提供了一种槽式硅片制绒机台载具，通过改变载具结构，解决了压杆放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染的问题，并且节约了制程时间，提高了产品的生产效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。