[实用新型]一种单晶槽体的药液循环结构有效

专利信息
申请号: 201721783898.X 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN207760445U 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 张望望;储凤舞;张小刚 申请(专利权)人: 太极能源科技(昆山)有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 泵浦 槽体 支路 药液循环 吐出 单晶电池片 溢流槽 硅片 单晶 吸入 本实用新型 溢流口位置 泵浦装置 槽体内部 槽体外部 工业制造 生产效率 循环状态 吐出口 溢流口 容置 伸入 脏污 浸润 清洗 改良 保证 生产
【说明书】:

本实用新型涉及一种单晶槽体的药液循环结构,适用于工业制造领域,公开了包括:一槽体,用于容置药液及单晶电池片,上部设有至少一溢流口;至少一溢流槽,设置于槽体上方靠近溢流口位置;一泵浦装置,设置于槽体外部,设有至少一泵浦吸入支路和多个泵浦吐出支路,每一泵浦吸入支路与一溢流槽连接,每一泵浦吐出支路通过管道伸入槽体内部,每一泵浦吐出支路上包括多个泵浦吐出口。上述技术方案的有益效果是:改良药液循环方式,保证实际生产,药液在槽体每个位置均能一直处于循环状态中,使单晶电池片充分地、均匀地浸润在药液中,以促进硅片与药液充分反应,并达到彻底清洗硅片脏污的目的,同时可以减少一定的反应时间,提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及工业制造领域,尤其涉及一种单晶槽体的药液循环结构。

背景技术

单晶电池片(单晶硅片)在一定浓度范围的药液(碱溶液)中被腐蚀时是各向异性的,不同晶向上的腐蚀速率不一样。

利用这一原理,将特定晶向的单晶电池片放入药液中腐蚀,即可在电池片表面产生出许多细小的金字塔状外观,这一过程称为单晶碱制绒。

目前的单晶电池片制绒机台多为槽式机台,单晶电池片由载具花篮承载,必须浸泡在槽体药液中反应,为了药液与单晶电池片能彻底充分的反应均匀,达到绒面结构均匀、清洗干净表面的脏污的目的,就必须要求配制的药液能充分的混合均匀,这样才能保证单晶制绒的效果。

目前实际生产过程中,机台槽体的循环方式,因机台的原始设计构造为药液从槽体上端的两边溢流口溢出到溢流槽,然后再通过吸入管道流到泵浦装置,通过泵浦装置的压力从槽体底部通过泵浦吐出口流入连接的管道内,通过管道上的小孔循环上来。

如图4所示,此种循环方式在循环过程中,因底部的泵浦吐出口连接的管道较长,槽体底部的泵浦吐出口较小导致靠近泵浦吐出口的管道药液循环较快,尾端的管道药液循环较慢,从而导致槽体的前后两端的药液循环不充分,无法彻底的把槽体药液循环起来,导致药液循环反应不充分,无法保证绒面的均匀性,导致制绒过后外观不良。

发明内容

基于现有技术中存在的上述问题,现提供一种单晶槽体的药液循环结构,旨在解决因槽体药液循环不充分,导致单晶电池片制绒后绒面不均匀,外观清洗不干净导致不良的问题。

上述技术方案具体包括:

一种单晶槽体的药液循环结构,其中包括:

一槽体,所述槽体用于容置药液及单晶电池片,所述槽体上部设有至少一溢流口;

至少一溢流槽,设置于所述槽体上方靠近所述溢流口位置;

一泵浦装置,设置于所述槽体外部,所述泵浦装置设有至少一泵浦吸入支路和多个泵浦吐出支路,每一所述泵浦吸入支路与一所述溢流槽连接,每一泵浦吐出支路通过管道伸入所述槽体内部,每一泵浦吐出支路上包括多个泵浦吐出口。

优选的,该单晶槽体的药液循环结构,其中,多个所述泵浦吐出支路平行设置于所述槽体中。

优选的,该单晶槽体的药液循环结构,其中,多个所述泵浦吐出支路沿所述槽体的宽度方向设置。

优选的,该单晶槽体的药液循环结构,其中,泵浦吐出口沿所述槽体的长度方向均匀分布。

优选的,该单晶槽体的药液循环结构,其中,一所述泵浦吐出支路上的泵浦吐出口与另一所述泵浦吐出支路上的所述泵浦吐出口交错设置。

优选的,该单晶槽体的药液循环结构,其中,所述槽体包括:

所述槽体容量为200~300片所述单晶电池片,所述泵浦吐出口数量为6~9。

优选的,该单晶槽体的药液循环结构,其中,每一所述泵浦吸入支路包括一泵浦吸入口。

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