[实用新型]一种砷化镓位错腐蚀加热设备

权利要求书

1.一种砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，包括铁质工形件(1)、环形保温层(2)、加热装置(3)和带有坩埚盖的坩埚(4)；

所述铁质工形件(1)包括环形件(10)、桶形工件(20)和板形件(30)，所述桶形工件(20)的下端固定在所述板形件(30)的中间部位，所述环形件(10)环绕所述桶形工件(20)的上端设置，所述坩埚(4)开口向上地位于所述桶形工件(20)内部，所述环形保温层位于所述环形件(10)和所述板形件(30)之间且环绕所述桶形工件(20)设置，所述加热装置(3)位于所述板形件(30)的下方，且与所述桶形工件(20)位置相对。

2.如权利要求1所述的砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，

所述加热装置(3)为圆形电炉盘，所述加热装置(3)的直径大于所述桶形工件(20)的下端外径；

所述环形保温层(2)的内腔与所述加热装置(3)位置对应，所述环形保温层(2)的上端内缘与所述桶形工件(20)的上端外缘贴近设置，所述环形保温层(2)的下端的直径与所述加热装置(3)的直径的大小相近。

3.如权利要求2所述的砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，

所述环形保温层(2)的上端贴合所述环形件设置，下端贴合所述板形件(30)设置。

4.如权利要求1所述的砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，

所述环形件(10)和所述板形件(30)的厚度为3mm，所述桶形工件(20)的厚度为10mm。

5.如权利要求1所述的砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，

所述环形保温层为氧化铝泡沫保温砖层。

6.如权利要求1所述的砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，

所述坩埚(4)的外缘与所述桶形工件(20)的上端内缘贴近设置。

7.如权利要求1所述的砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，

所述坩埚盖设有手柄，所述坩埚盖的顶部设有两个直径小于5mm的通孔。