[实用新型]用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备

权利要求书

1.用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，其特征在于：包括内底部设真空炉底座(2)的真空炉(1)，平行相对设有所述真空炉底座(2)上的正电极架和负电极架，以及垂直等距并排固定于所述真空炉底座(2)上并位于所述正电极架和所述负电极架之间的四个支架(5)，四个所述支架(5)形成的支架排横向分布于所述正电极架和所述负电极架之间，每个所述支架(5)的顶部均固定有一个用于固定待加工微孔拉丝模的工装台(6)，所有所述工装台(6)均垂直分布于所述正电极架和述负电极架之间；

所述正电极架包括均绝缘密封垂直固定于所述真空炉底座(2)上且相互平行的一对主正电极杆(3)，以及均垂直连接于该对所述主正电极杆(3)之间且上下正对的上正电极杆(7)和下正电极杆(9)，所述上正电极杆(7)和所述下正电极杆(9)之间的竖直距离与固定于所述工装台(6)上的固定待加工微孔拉丝模相对应；每根所述上正电极杆(7)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的上正电极高温弹簧组，每组所述上正电极高温弹簧组包括两根上正电极高温弹簧(11)，并且该两根所述上正电极高温弹簧(11)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的上部两侧，每根所述下正电极杆(9)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的下正电极高温弹簧组，每组所述下正电极高温弹簧组包括两根下正电极高温弹簧(12)，并且该两根所述下正电极高温弹簧(12)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的下部两侧；

所述负电极架包括均绝缘密封垂直固定于所述真空炉底座(2)上且相互平行的一对主负电极杆(4)，以及均垂直连接于该对所述主负电极杆(4)之间且上下正对的上负电极杆(8)和下负电极杆(10)，所述上负电极杆(8)和所述下负电极杆(10)之间的竖直距离与固定于所述工装台(6)上的固定待加工微孔拉丝模相对应，并且所述上正电极杆(7)与所述上负电极杆(8)处于同一竖直高度，所述下正电极杆(9)与所述下负电极杆(10)处于同一竖直高度；每根所述上负电极杆(8)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的上负电极高温弹簧组，每组所述上负电极高温弹簧组包括两根上负电极高温弹簧(13)，并且该两根所述上负电极高温弹簧(13)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的上部两侧，每根所述下负电极杆(10)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的下负电极高温弹簧组，每组所述下负电极高温弹簧组包括两根下负电极高温弹簧(14)，并且该两根所述下负电极高温弹簧(14)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的下部两侧；

每一根所述上正电极高温弹簧(11)分别对应一根所述上负电极高温弹簧(13)，并且相对应的上正电极高温弹簧(11)和上负电极高温弹簧(13)之间连接有一根呈水平状态的上钽丝(15)，每一根所述下正电极高温弹簧(12)分别对应一根所述下负电极高温弹簧(14)，并且相对应的下正电极高温弹簧(12)和下负电极高温弹簧(14)之间连接有一根呈水平状态的下钽丝(16)，使每一个工装台(6)上的待加工微孔拉丝模上部分布有两根上钽丝(15)、下部分布有两根下钽丝(16)，所有上钽丝(15)和所有下钽丝(16)分别与相对应工装台(6)上的待加工微孔拉丝模之间的垂直距离为相应待加工微孔拉丝模孔径的2.35倍。

2.根据权利要求1所述的用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，其特征在于：每个所述工装台(6)上等距一字排列有五只待加工微孔拉丝模，并且同一所述工装台(6)上的所有所述待加工微孔拉丝模的朝向一致且同轴排列。

3.根据权利要求2所述的用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，其特征在于：同一所述工装台(6)上的相邻两个待加工微孔拉丝模的间距为5-10mm。

4.根据权利要求3所述的用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，其特征在于：同一所述工装台(6)上的相邻两个待加工微孔拉丝模的间距为8mm。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，其特征在于：所有所述上钽丝(15)和所有所述下钽丝(16)的直径均为0.3mm、长度均为100mm。

6.根据权利要求5所述的用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，其特征在于：所述待加工微孔拉丝模的孔径不大于0.8mm。