[实用新型]一种具有金刚石薄膜的硬质合金有效
申请号: | 201721788799.0 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN207646283U | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 唐永炳;李星星;黄磊;王陶;杨扬 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/02;C23C14/06;C23C14/02 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石薄膜 硬质合金 硬质合金基体 稀土金属氧化物 稀土金属 单质 金刚石薄膜表面 本实用新型 金刚石形核 摩擦系数 使用寿命 光滑度 结合力 沉积 掺杂 | ||
1.一种具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,包括硬质合金基体以及沉积在所述硬质合金基体表面的金刚石薄膜,所述金刚石薄膜中掺杂有稀土金属氧化物和稀土金属单质。
2.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述稀土金属氧化物中的稀土金属元素包括钇、铈、镧中的一种或多种,所述稀土金属单质包括钇、铈、镧中的一种或多种。
3.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述金刚石薄膜中稀土金属元素的质量含量为0.5%-3.0%。
4.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述金刚石薄膜的厚度为4μm-8μm。
5.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述稀土金属氧化物分布在靠近所述硬质合金基体一侧的所述金刚石薄膜中,所述稀土金属单质分布在整个所述金刚石薄膜中。
6.如权利要求5所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述稀土金属单质在远离所述硬质合金基体一侧的所述金刚石薄膜中呈均匀分布。
7.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述金刚石薄膜表面的摩擦系数为0.03-0.06。
8.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述金刚石薄膜和所述硬质合金基体之间的结合力为400N-1000N。
9.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述金刚石薄膜中金刚石的形核密度为(5-10)×1010个/cm2。
10.如权利要求1所述的具有金刚石薄膜的硬质合金,其特征在于,所述硬质合金包括硬化相和粘结金属,所述硬化相包括碳化钛、碳化钒、碳化铬、硅化锆、硅化铌、氮化钼、氮化铪、硼化钽、硼化钨中一种或多种的组合,所述粘结金属包括钴、镍、钼中的至少一种。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的