[实用新型]一种芯片扫描电镜样品台

说明书

本实用新型提供一种芯片扫描电镜样品台，包括安装座和基板，安装座底部通过调节螺栓活动安装在基板上，基板的四周分别设置有倒装的沉头螺栓，安装座上设置有多个平行的通槽，安装座与通槽平行的两侧设置有贯穿的固定通孔，通槽的一侧面上设置有挡板。本实用新型结构简单，可以同时嵌入多个样品，同时进行涂层和观察，可有效节约时间和消耗品成本。

技术领域

本实用新型主要涉及半导体领域，尤其涉及一种芯片扫描电镜样品台。

背景技术

现有的SEM样品台(扫描电镜样品台)，对于需要竖着观察的样品，由于样品台很小，每次只能放入一个样品，需要进行样品对比时，或者需要同时分析多个样品时，需要不停地开关样品仓换样品，非常浪费时间。

已公开中国发明专利，申请号CN201620194696.0，专利名称：一种冷场扫描电镜用多功能样品台，申请日：20160314，其公开了一种冷场扫描电镜用多功能样品台，属于冷场发射电镜用样品台领域。该样品台包括主体、样品槽、长螺钉、黄铜垫片、固定头，其中其中样品通过长螺钉的旋转固定在样品槽内；样品槽内能铺设黄铜垫片。本实用新型实现了样品台同时承载较多数量的样品，同时对同批次样品的形状，尺寸，形状无统一要求，一次可以放置多个尺寸，形状均不相同的样品，从而提高了实验效率，简化了制样过程。同时亦可用于普通扫描电镜，适用广泛。本样品台既可用于观察非磁性材料，也可以用来观察磁性材料，操作简单方便，安全可靠，有效拓宽了冷场扫描电镜的应用范围。

实用新型内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种芯片扫描电镜样品台，本实用新型通过下述技术方案实现：包括安装座1和基板2，所述安装座1底部通过调节螺栓3活动安装在基板2上，所述基板2的四周分别设置有倒装的沉头螺栓4，所述安装座1上设置有多个平行的通槽5，所述安装座1与通槽5平行的两侧设置有贯穿的固定通孔6，所述通槽5的一侧面上设置有挡板7。

优选的，所述基板2底部设置有定位凹槽8。

优选的，所述固定通孔6设置有四个。

优选的，所述每个通槽5内设置有一个挡板7，所述挡板7设置在位于中间的两个固定通孔6之间。

优选的，所述基板2的两侧设置有拉手9。

优选的，所述拉手9呈半圆环形。

优选的，所述安装座1的表面设置有号位10，每个通槽5的两侧平面上分别设置有两个号位10，两侧的号位10参差设置，号位10设置在固定通孔6正上方。

本实用新型的有益效果：可以同时嵌入多个样品，同时进行涂层和观察，可有效节约时间和消耗品成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为图2中关于A-A面的剖视图；

图4为图2中关于B-B面的剖视图；

图中，

1、安装座；2、基板；3、调节螺栓；4、沉头螺栓；5、通槽；6、固定通孔；7、挡板；8、凹槽；9、拉手；10、号位。

具体实施方式

如图1-4所示可知，本实用新型包括有：安装座1和基板2，所述安装座1底部通过调节螺栓3活动安装在基板2上，所述基板2的四周分别设置有倒装的沉头螺栓4，所述安装座1上设置有多个平行的通槽5，所述安装座1与通槽5平行的两侧设置有贯穿的固定通孔6，所述通槽5的一侧面上设置有挡板7。

使用中，将待扫描检测的产品插设在通槽5中，并通过固定通孔6穿入固定杆固定，然后将产品放入检测平台中，通过调整调节螺栓3调整基板2的水平度，为检测产品提供水平保证。