[实用新型]一种二极管酸洗装置有效
申请号: | 201721791767.6 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN208062026U | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 沈海斌 | 申请(专利权)人: | 南浔双林永欣电子元件厂 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 朱月芬 |
地址: | 313014 浙江省湖州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二极管 酸液箱 竖架 酸洗装置 酸洗板 酸洗槽 内层 酸洗 本实用新型 加热腔 上横架 均布 支架 渗漏检测仪 一体成型的 安全性能 底部外壁 两端对称 温度计 供液管 下横架 插孔 横架 内卡 热管 提杆 悬臂 去除 对称 残留 保证 | ||
1.一种二极管酸洗装置,其特征在于:包括支架(1)、酸洗槽(2)和酸液箱(3),所述支架(1)包括一体成型的下横架(11)、第一竖架(12)、上横架(13)和第二竖架(14),所述酸液箱(3)固定在上横架(13)上,所述酸液箱(3)设有内层(31)和外层(32),所述内层(31)和外层(32)之间形成加热腔(33),所述加热腔(33)的底部均布有加热管(4),所述内层(31)底部外壁上安装有渗漏检测仪(5)和温度计(6),所述酸液箱(3)底部设有供液管(7),所述酸洗槽(2)安装在下横架(11)上,所述酸洗槽(2)内卡有酸洗板(21),所述酸洗板(21)上均布有插孔(211),所述酸洗板(21)两端对称设有提杆(212),所述第一竖架(12)和第二竖架(14)上对称设有悬臂(8)。
2.根据权利要求1所述的二极管酸洗装置,其特征在于:所述供液管(7)一端连在内层(31)底部,依次穿过加热腔(33)和外层(32)层壁,另一端悬在酸洗槽(2)上方,所述供液管(7)上设有限流阀(71),所述供液管(7)的材质为耐高温材质。
3.根据权利要求1所述的二极管酸洗装置,其特征在于:所述酸洗槽(2)槽壁两侧开有供酸洗板(21)上下移动的滑槽(22),所述酸洗槽(2)底部设有排液管(23)。
4.根据权利要求3所述的二极管酸洗装置,其特征在于:所述滑槽(22)的深度为酸洗槽(2)高度的一半。
5.根据权利要求1所述的二极管酸洗装置,其特征在于:所述加热管(4)安装在外层(32)内壁上,所述第一竖架(12)上安装有控制柜(9)。
6.根据权利要求1所述的二极管酸洗装置,其特征在于:所述提杆(212)的杆顶成型有挂钩。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造