[实用新型]辉光放电离子源装置

权利要求书

1.一种辉光放电离子源装置，其特征在于，包括：

电极部，包括阳极和阴极，所述阳极加载正电压，所述阴极加载负电压；所述阳极的顶部和所述阴极的底部之间形成真空状态的放电间隙，用于辉光放电；

所述阴极的底部设有阴极孔，顶部设有试剂入口，所述试剂入口与所述阴极孔相通，所述阴极孔与所述放电间隙相通；

所述阳极设有真空腔，为真空环境，用于存放被测物质；所述阳极的顶部设有真空差分孔，底部设有与所述真空腔相通的物料入口；所述真空差分孔的一端与所述放电间隙相通，另一端与所述真空腔相通；

绝缘部，一端连接所述阳极的顶部，另一端连接所述阴极的底部，将所述阳极和所述阴极隔开。

2.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述阳极和所述阴极之间存在大于100伏的直流电压。

3.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述阴极孔的长度和直径之比范围为10:1～5:1。

4.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述试剂入口通过密封管道连接针阀的一端，所述针阀另一端连接试剂气体存储容器；所述试剂气体存储容器为储水密封罐或气瓶；

所述针阀用于调节所述密封管道内的气体流量。

5.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述放电间隙的高度方向的精度由所述绝缘部的高度的精度保证。

6.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述绝缘部与所述电极部相接的两端分别设有密封槽，所述密封槽内置密封圈。

7.根据权利要求1所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述阳极和所述阴极之间为可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述阳极和所述阴极之间采用螺栓连接。

9.根据权利要求8所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述阳极和所述阴极之间通过绝缘套由螺栓连接；

所述绝缘套为圆柱形，一端沿径向延伸出压耳，另一端穿过所述阴极，所述压耳与所述阴极压紧；

所述绝缘套中心沿轴向设有螺孔，螺栓穿过所述螺孔与所述阳极连接。

10.根据权利要求1-9任一所述的辉光放电离子源装置，其特征在于，所述电极部为非金属材料，所述非金属材料的硬度上应大于聚四氟乙烯材料的硬度；

所述绝缘部为聚醚醚酮或酚醛树脂或石墨材质。