[实用新型]一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备

权利要求书

1.一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚(1)、下支撑板(2)、安装板(4)、降温辊(5)、上支撑板(6)和加热箱体(8)，其特征在于：所述安装板(4)下端两侧均安装有下支撑板(2)，所述下支撑板(2)下端前后两侧均安装有防滑支脚(1)，所述下支撑板(2)内侧下端安装有安装扣件(12)，所述安装扣件(12)之间通过收集箱体(3)连接，所述安装板(4)中间位置处安装有降温辊(5)，所述降温辊(5)中间位置处安装有中间转动轴(13)，所述安装板(4)前表面安装有散热风机(11)，所述安装板(4)上端安装有上支撑板(6)，所述上支撑板(6)内侧安装有限位板(7)，且限位板(7)中间位置处安装有加热箱体(8)，所述加热箱体(8)内部安装有加热装置(9)，所述加热装置(9)位于加热箱体(8)内部安装有加热盘管(16)，所述加热盘管(16)一侧上端安装有盘管正极(17)，所述加热盘管(16)一侧下端安装有盘管负极(19)，且盘管正极(17)和盘管负极(19)之间通过盘管安装板(18)连接，所述加热箱体(8)下端安装有液压阀门(10)。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，其特征在于：所述下支撑板(2)共设有两个，且两个下支撑板(2)对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，其特征在于：所述防滑支脚(1)共设有四个，且四个防滑支脚(1)两两对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，其特征在于：所述降温辊(5)共设有两个，且两个降温辊(5)对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，其特征在于：所述散热风机(11)共设有两个，且两个散热风机(11)对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，其特征在于：所述中间转动轴(13)外侧安装有支撑杆(14)，所述支撑杆(14)末端通过离型膜(15)连接。

7.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，其特征在于：所述上支撑板(6)共设有两个，且两个上支撑板(6)对称分布。

8.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，其特征在于：所述限位板(7)共设有四个，且四个限位板(7)两两对称分布。