[实用新型]一种硅片抛光固定装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片抛光固定装置，包括第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架和第二支撑架上端均安装有固定台，固定台下端右侧固定有限位架，限位架底端中部通过铰接轴安装有转动杆，转动杆左端设有第一腰形槽，第一腰形槽内部通过固定螺栓安装有升降轴，升降轴上端安装有导向杆，导向杆顶端安装有夹持板，所述转动杆右端中部安装有第二腰形槽，第二腰形槽内部安装有插杆。本实用新型，通过设有的转动杆与升降轴之间的相互配合，实现着对硅片的高效固定，避免人工手动夹持所带来的晃动，大大增加着硅片的抛光精度，同时操作简单，也降低着工人的劳动强度，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，具体是一种硅片抛光固定装置。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。

在硅片出厂之前需要对硅片进行抛光，从而增加着硅片的表面光滑度，在硅片进行抛光时需要对硅片进行固定，然而现有的硅片在抛光固定时，大多使用人工夹持硅片进行抛光，这不仅容易产生晃动，而且还会额外增加工人的劳动强度，实用性不强。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片抛光固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片抛光固定装置，包括第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架和第二支撑架上端均安装有固定台，固定台下端右侧固定有限位架，限位架底端中部通过铰接轴安装有转动杆，转动杆左端设有第一腰形槽，第一腰形槽内部通过固定螺栓安装有升降轴，升降轴上端安装有导向杆，导向杆顶端安装有夹持板，所述转动杆右端中部安装有第二腰形槽，第二腰形槽内部安装有插杆。

作为本实用新型进一步的方案：所述固定台中部设有与导向杆相互配合的导向孔。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二支撑架中部均匀设有固定孔，固定孔内也安装有插杆。

作为本实用新型进一步的方案：所述固定孔沿着第二支撑架上下竖直单向阵列。

作为本实用新型进一步的方案：所述转动杆右端安装有防滑套。

作为本实用新型再进一步的方案：所述导向杆为L型连杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

所述一种硅片抛光固定装置，结构合理，设计新颖，通过设有的转动杆与升降轴之间的相互配合，实现着对硅片的高效固定，避免人工手动夹持所带来的晃动，大大增加着硅片的抛光精度，同时操作简单，也降低着工人的劳动强度，实用性强。

附图说明

图1为一种硅片抛光固定装置的结构示意图。

图2为一种硅片抛光固定装置中导向架的俯视结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。