[实用新型]一种气密性检测设备有效
| 申请号： | 201721798476.X | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207556773U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 周志刚;周阳;陈龙;柯君;耿飒;曾德春;江湖;宋新国 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张应 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密封空间 本实用新型 密性检测 抽真空 气密性检测设备 气体检测装置 缩短生产周期 抽真空装置 节省资源 灵活移动 密封贴合 防化服 破真空 气密性 靶材 滚轮 检漏 离线 判定 检测 | ||
1.一种气密性检测设备，用于检测安装有靶材的基座的气密性，其特征在于，所述气密性检测设备包括：
支架；
用于与所述基座密封贴合的密封装置，所述密封装置与所述基座之间形成密封空间，所述密封装置设置在所述支架上；
用于对所述密封空间抽真空的抽真空装置；
用于检测所述密封空间内气体的气体检测装置。
2.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封装置包括密封盖，所述密封盖的周缘用于与所述基座的周缘密封贴合。
3.根据权利要求2所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封盖的周缘设置有密封圈，且所述密封圈位于所述密封盖与所述基座之间。
4.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述抽真空装置包括顺次连接的机械泵、波纹管、分子泵，所述分子泵用于对所述密封空间抽真空。
5.根据权利要求4所述的气密性检测设备，其特征在于，所述抽真空装置还包括气动蝶阀，所述气动蝶阀设置在所述分子泵上，且所述气动蝶阀与所述密封空间连接。
6.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封装置上设置有与所述密封空间连接的第一阀门，所述第一阀门用于对所述密封空间破真空。
7.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封装置上设置有与所述密封空间连接的第二阀门，所述第二阀门与所述气体检测装置连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的气密性检测设备，其特征在于，所述支架包括至少两根竖直梁，两根竖直梁之间通过横梁连接，所述横梁可沿所述竖直梁上下运动，所述密封装置设置在所述横梁上，且所述密封装置可沿所述横梁往复运动。
9.根据权利要求8所述的气密性检测设备，其特征在于，所述气密性检测设备还包括设置在所述竖直梁底部的多个滚轮。
10.根据权利要求1-7任一项所述的气密性检测设备，其特征在于，所述气密性检测设备还包括控制器，所述控制器与所述抽真空装置连接，所述控制器上设置有操作界面。
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