[实用新型]一种玻璃基板背部除静电装置

说明书

本实用新型涉及一种玻璃基板背部除静电装置，包括台板、升降架、升降Pin、静电消除器、支架和铝型材，所述的台板下方设有升降架，所述的升降架上设有升降Pin，升降Pin可穿过台板，所述的静电消除器通过支架固定在升降架的铝型材上，所述的台板上设有开孔，静电消除器可以通过开孔伸出台板的上方。本实用新型结构简单、设计合理，在玻璃基板的下方进行静电消除，距离静电的产生源头更近，能够更有效地去除玻璃基板上的静电，另外台板上的开孔的位置和数量可以根据玻璃基板的尺寸进行合理布置，整体结构较小，安装和维护的灵活性比较高。

【技术领域】

本实用新型属于微电子技术领域半导体及平板显示行业，具体公开了一种玻璃基板背部除静电装置。

【背景技术】

随着液晶行业的发展，半导体制造工艺和结构越来越精细，电路的集成密度不断提高，以致电子器件对ESD的敏感度不断提高，静电问题日益突出。玻璃基板在清洗的过程中，清洗机升降Pin和台板在与玻璃基板的接触和分离的过程中会产生静电荷,电子会从玻璃基板转移到与之接触的Pin和台板上，两者之间形成偶对电子层。清洗机升降Pin和台板均在玻璃基板的下方，如果静电荷没有得到及时导出,当滚升降Pin或者台板与玻璃基板分开后,两者都会有电荷积累，而液晶面板电路就形成于玻璃基板的表面，随着电荷的积累和分布的不均匀，就有可能产生短路、断路或者静电击穿，导致器件被破坏,严重影响成品率。在玻璃基板的清洗过程中，一般的除静电方式是在玻璃基板上部安装离子棒，来降低玻璃在清洗过程中产生的静电，此种方式距离静电的源头比较远，去静电效果不是很好。

【实用新型内容】

本实用新型涉及一种玻璃基板背部除静电装置，该装置安装和维护的灵活性比较高，在玻璃基板的下方进行静电消除，距离静电的产生源头更近，能够更有效地去除玻璃基板上的静电。

本实用新型采用的技术方案是：一种玻璃基板背部除静电装置，包括台板、升降架、升降Pin、静电消除器、支架和铝型材，所述的台板下方设有升降架，所述的升降架上设有升降Pin，升降Pin可穿过台板，所述的静电消除器通过支架固定在升降架的铝型材上，所述的台板上设有开孔，静电消除器可以通过开孔伸出台板的上方。

在本实用新型中：所述静电消除器为高频AC喷嘴型静电消除器。

在本实用新型中：所述的支架通过螺钉和T形螺母与升降架的铝型材进行固定。在本实用新型中：所述的台板上设有供升降Pin穿过的通孔。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果为：本实用新型结构简单、设计合理，在玻璃基板的下方进行静电消除，距离静电的产生源头更近，能够更有效地去除玻璃基板上的静电，另外台板上的开孔的位置和数量可以根据玻璃基板的尺寸进行合理布置，整体结构较小，安装和维护的灵活性比较高。

【附图说明】

此处所说明的附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，但并不构成对本实用新型的不当限定，在附图中：

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型中静电消除器安装示意图；

图4是本实用新型中安装支架示意图；

图5是本实用新型与现有技术的静电值的对比图数据。

图中：其中，1、静电消除器；2、支架；3、铝型材；4、玻璃基板；5、升降Pin；6、升降架；7、台板；8、开孔。

【具体实施方式】

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。