[实用新型]一种面板缺陷检查装置有效
| 申请号： | 201721802457.X | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207600973U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王文;杨慎东;郭连俊 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滑移机构 显微镜 光源 本实用新型 滑动连接 检查装置 面板缺陷 光学检测装置 结构技术领域 查看装置 联动机构 两两垂直 两两相对 面板两侧 同步光源 同步状态 微观缺陷 灯箱 相交 消耗 检测 检查 | ||
1.一种面板缺陷检查装置，包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜(1)和光源(2)，其特征在于：还包括X向滑移机构和Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构；所述的显微镜(1)与光源(2)滑动连接于所述Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜(1)与光源(2)沿Y向移动过程中保持显微镜(1)与光源(2)始终处于两两相对的同步状态的联动机构；所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。
2.如权利要求1所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的联动机构包括固定在Y向滑移机构上的光源滑轨(3)；所述的光源滑轨(3)沿Y向水平布置；所述的光源(2)滑动连接于光源滑轨(3)上，通过第一电机驱动沿光源滑轨(3)移动。
3.如权利要求2所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的光源(2)与光源滑轨(3)之间设置有在光源(2)滑移到超出面板检测范围时控制第一电机停止驱动光源(2)移动的到位机构。
4.如权利要求3所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的到位机构包括固定在光源(2)X向侧部的感应片(4)和固定在光源滑轨(3)上与感应片(4)同侧的底座(5)；所述的底座(5)上安装有两片沿X向间隔布置的竖板(6)；所述的两块竖板(6)之间布置有传感器；所述的感应片(4)在跟随光源(2)滑移到超出面板检测范围时穿过两片竖板(6)之间的间隙。
5.如权利要求1所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的X向滑移机构包括两条分置于待检测面板Y向两侧的X向导轨(7)，光源滑轨(3)可沿X向移动地布置于两条X向导轨(7)之间。
6.如权利要求5所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的Y向滑移机构包括龙门架(8)；所述的龙门架(8)Y向两端滑动连接于X向导轨(7)上，龙门架(8)上设置有沿Y向水平布置的Y向导轨(9)；所述的光源滑轨(3)固定在龙门架(8)上；所述的显微镜(1)滑动连接于Y向导轨(9)上通过第二电机驱动沿Y向移动；所述的第二电机与第一电机同步。
7.如权利要求6所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的显微镜(1)包括滑动连接于Y向导轨上的支架(10)和物镜；所述的支架(10)上安装有沿Z向布置的Z向轨道(11)；所述的Z向轨道(11)上设置有沿水平X向布置的X向轨道(12)；所述的X向轨道(12)滑动连接于Z向轨道(11)；所述的物镜滑动连接于X向轨道(12)。
8.如权利要求7所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的显微镜(1)包括多个不同倍率的物镜。
9.如权利要求1所述的一种面板缺陷检查装置，其特征在于：所述的光源(2)为可调节亮度的可调光源，调节光源亮度的旋钮(13)位于光源(2)Y向侧部。
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