[实用新型]硅基微气相色谱柱有效
| 申请号： | 201721816759.2 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN207623299U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 冯飞;罗凡;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N30/60 | 分类号： | G01N30/60 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 色谱柱 硅纳米线 硅基 微气 本实用新型 分离度 纳米线 内表面 微沟道 有效地 柱容量 森林 线径 制备 柱效 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅基微气相色谱柱，其特征在于，包括：
硅衬底；
微沟道，形成于所述硅衬底中；
微流控端口，形成于所述微沟道两端；
硅纳米线森林，制备于所述微沟道内；以及
封装盖板，键合于所述硅衬底表面，以封闭所述微沟道，形成硅基微气相色谱柱的微通道。
2.根据权利要求1所述的硅基微气相色谱柱，其特征在于：所述微沟道内还具有多个沟道单元及多个微柱阵列所组成群组中的一种或两种，所述硅纳米线森林制备于所述多个沟道单元及所述多个微柱阵列表面。
3.根据权利要求1所述的硅基微气相色谱柱，其特征在于：还包括：基于所需分离的组分形成于所述硅纳米线森林表面的相应的修饰材料。
4.根据权利要求1所述的硅基微气相色谱柱，其特征在于：所述封装盖板包含双面抛光的玻璃盖板，通过阳极键合方法键合于所述硅衬底的键合面上。
5.根据权利要求1所述的硅基微气相色谱柱，其特征在于：所述封装盖板包含硅盖板，所述硅盖板于与所述微沟道对应的区域制备有硅纳米线森林，通过硅-硅键合工艺将所述硅盖板与所述硅衬底进行键合。
6.根据权利要求1～5任意一项所述的硅基微气相色谱柱，其特征在于：所述硅纳米线森林中的硅纳米线的线径介于1～100纳米之间。
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