[实用新型]一种气相沉积炉尾气除焦装置

权利要求书

1.一种气相沉积炉尾气除焦装置，包括内端用于连接气相沉积炉炉腔的排气主管道（1）和末端用于连接真空发生装置、前端与排气主管道（1）末端相连接的排气副管道（2），排气副管道（2）靠近排气主管道（1）末端的一段与排气主管道（1）走向相垂直，其特征在于：排气主管道（1）与排气副管道（2）的连接处通过油管连接有接油箱（4）；在排气主管道（1）中设有位于排气主管道（1）中心位置的电阻加热管（5），电阻加热管（5）外套有绝缘保护套（9）；电阻加热管（5）的根部与排气副管道（2）的管壁相连接；气相沉积炉尾气除焦装置还包括安装在排气主管道（1）中、绕电阻加热管（5）螺旋设置且以电阻加热管（5）为旋转中心的螺旋刮板（6），该螺旋刮板（6）的前端靠近排气主管道（1）的内端，螺旋刮板（6）的后端连接有从动齿轮（8）；从动齿轮（8）通过轴承安装在电阻加热管（5）上；与从动齿轮（8）相啮合的主动齿轮（7）与安装在排气副管道（2）外侧的电机（3）传动连接；所述齿轮和轴承均位于排气主管道（1）与排气副管道（2）的连接处内腔中。

2.如权利要求1所述的气相沉积炉尾气除焦装置，其特征在于：排气副管道（2）中安装有纳米级过滤网（10），该纳米级过滤网（10）位于排气主管道（1）与排气副管道（2）之间并且网面与螺旋刮板（6）的外沿相切。

3.如权利要求1或2所述的气相沉积炉尾气除焦装置，其特征在于：电机（3）的输出轴外端位于排气主管道（1）与排气副管道（2）的连接处内腔中，主动齿轮（7）安装在电机（3）的输出轴外端。

4.如权利要求1或2所述的气相沉积炉尾气除焦装置，其特征在于：排气主管道（1）与排气副管道（2）的连接处的下侧通过油管连接位于该连接处下方的接油箱（4）。

5.如权利要求3所述的气相沉积炉尾气除焦装置，其特征在于：排气主管道（1）与排气副管道（2）的连接处的下侧通过油管连接位于该连接处下方的接油箱（4）。