[实用新型]一种高效石英槽制造装置

说明书

本实用新型公开了一种高效石英槽制造装置，包括轴套、压板、置于轴套和压板之间的多件刀具，多件刀具之间分别设有隔板，隔板厚度与沟齿间隔相吻合，刀具与沟齿宽度相吻合，本实用新型通过压板将多件刀具套装并压紧在轴套上，集合成一个整体的多刀具制造装置，一次加工能同时对石英沟棒上的多个沟齿进行加工，大大提高了加工效率和企业产能，降低了加工成本，节约了加工时间，满足产品加工的短货期、低价格要求。

技术领域

本实用新型涉及到一种切削加工领域技术领域，尤其涉及到一种能同时加工多个沟槽的高效石英槽制造装置。

背景技术

石英沟棒作为石英舟的重要部件，在硅片的热处理过程中起到非常重要的作用，近年来随着半导体技术的不断发展，单次工艺能够处理硅片的数量越来越多，石英沟棒的沟齿数量也不断增加，如图1所示，石英沟棒的顶面设有多个均匀排布的沟齿，现有沟齿的加工方法采用成型刀具，对沟齿进行连续加工，完成一个沟齿再继续对下一个沟齿进行加工。一根400齿的沟棒需要十几个小时才能加工完成，加工效率非常低下，严重降低了工厂产能，提高了加工成本。

实用新型内容

本实用新型主要解决现有沟齿加工效率低下、成本高昂的技术问题；提供了一种能同时加工多个沟槽的高效石英槽制造装置。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型主要是采用下述技术方案：

本实用新型的一种高效石英槽制造装置，用于石英沟棒上的沟齿加工，所述石英沟棒固置于加工机床的工作台上，所述装置包括轴套、压板、置于轴套和压板之间的多件刀具，所述多件刀具之间分别设有隔板，所述隔板厚度与所述石英沟棒上的沟齿间隔相吻合，所述轴套固设于加工机床的旋转轴上，所述刀具与沟齿宽度相吻合且对应沟齿，轴套、压板和隔板的外径均小于刀具的直径，通过压板将多件刀具套装并压紧在轴套上，集合成一个整体的多刀具制造装置，一次加工能同时对石英沟棒上的多个沟齿进行制造，大大提高了加工效率和企业产能，降低了加工成本，节约了加工时间，满足产品加工的短货期、低价格要求。

作为优选，所述刀具数量为两件，所述两件刀具之间设有一件隔板。

作为优选，所述轴套包括一体结构的轴颈和端面法兰，所述轴颈中央设有与所述加工机床旋转轴相适配的轴孔，端面法兰上设有若干均布的螺纹孔，所述压板中央设有与轴颈相适配的通孔，压板边沿设有与上述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的沉孔，所述刀具中央设有与轴颈相吻合的通孔，刀具边沿设有与所述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的装配孔，所述隔板中央设有与所述轴颈相适配的通孔，隔板边沿设有与所述螺纹孔一一对应且与螺纹孔相适配的装配孔，压板、刀具和隔板套设于轴套的轴颈上且通过紧固螺杆与端面法兰固定，各部件利用通孔套装在轴颈上，紧固螺杆穿过相应的装配孔将各部件紧固在轴套上，形成整体的制造装置，紧固螺杆的头部嵌设于压板的沉孔内，保证压板外表面的平整。

作为优选，所述端面法兰上还设有环状凹槽。

本实用新型的有益效果是：通过压板将多件刀具套装并压紧在轴套上，集合成一个整体的多刀具制造装置，一次加工能同时对石英沟棒上的多个沟齿进行制造，大大提高了加工效率和企业产能，降低了加工成本，节约了加工时间，满足产品加工的短货期、低价格要求。

附图说明

图1是石英沟棒的结构示意图。

图2是本实用新型的一种结构示意图。

图3是本实用新型的爆炸结构示意图。

图4是本实用新型的使用示意图。

图中1.石英沟棒，11.沟齿，2.轴套，21.轴颈，22.端面法兰，23.轴孔，24.螺纹孔，25.环状凹槽，3.压板，31.通孔，32.沉孔，4.刀具，41.装配孔，5.隔板，6.紧固螺杆。

具体实施方式