[实用新型]超结场效应管有效

专利信息
申请号: 201721831506.2 申请日: 2017-12-22
公开(公告)号: CN207676910U 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: 吴多武;马清杰;许正一 申请(专利权)人: 南京方旭智芯微电子科技有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 徐丽
地址: 210000 江苏省南京市浦口*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 半导体层 场效应管 超结 栅极源极 第一端 漏极层 空穴 本实用新型 载流子平衡 导通状态 电压波形 反向恢复 相对设置 嵌入 震荡 电路
【权利要求书】:

1.一种超结场效应管,其特征在于,包括:栅极源极层、漏极层、PN结型半导体层和P型补偿半导体层;

所述PN结型半导体层具有相对设置的第一端和第二端,所述第一端与所述栅极源极层连接;

所述P型补偿半导体层嵌入在所述第二端与所述漏极层的连接处,用于在所述超结场效应管处于反向恢复的过程中时,所述P型补偿半导体层与所述PN结型半导体层间为PN结导通状态,以使所述PN结型半导体层中包含注入的空穴,以维持所述PN结型半导体层中的载流子平衡。

2.根据权利要求1所述的超结场效应管,其特征在于,所述P型补偿半导体层嵌入在所述第二端的中心处,所述P型补偿半导体层和所述第二端均与所述漏极层连接。

3.根据权利要求2所述的超结场效应管,其特征在于,所述PN结型半导体层包括:第一P型半导体层、第二P型半导体层和N型半导体层;

所述N型半导体层具有相对设置的第三端和第四端,所述第三端位于所述第一端上,所述第四端位于所述第二端上,所述P型补偿半导体层嵌入在所述第四端的中心处以设置在所述N型半导体层内,所述N型半导体层的轴线的方向为所述第三端指向所述第四端的方向;

所述第一P型半导体层和所述第二P型半导体层均沿所述轴线对称设置于所述N型半导体层的周面。

4.根据权利要求3所述的超结场效应管,其特征在于,所述N型半导体层为由第一N型半导体材料制成。

5.根据权利要求3所述的超结场效应管,其特征在于,所述漏极层包括:衬底层和漏极电极层;

所述衬底层具有相对设置的第五端和第六端,所述第五端分别与所述第二端和所述P型补偿半导体层连接,所述第六端与所述漏极电极层连接。

6.根据权利要求5所述的超结场效应管,其特征在于,所述栅极源极层包括:源极层、介质层和栅极层,所述源极层与所述第一端连接并套设所述介质层,所述介质层与所述第一端连接并套设所述栅极层,所述栅极层与所述第一端连接。

7.根据权利要求6所述的超结场效应管,其特征在于,所述源极层包括:源极电极层、第一源极有源层和第二源极有源层;

所述源极电极层套设所述介质层并与所述第一端上的所述第一P型半导体层和所述第二P型半导体层均连接;

所述第一源极有源层嵌入所述第一P型半导体层并与所述源极电极层、所述介质层和所述栅极层均连接;

所述第二源极有源层嵌入所述第二P型半导体层并与所述源极电极层、所述介质层和所述栅极层均连接。

8.根据权利要求7所述的超结场效应管,其特征在于,所述第一源极有源层和所述第二源极有源层均由第二N型半导体材料制成。

9.根据权利要求8所述的超结场效应管,其特征在于,所述第二N型半导体材料的浓度大于制成所述N型半导体层的第一N型半导体材料的浓度。

10.根据权利要求9所述的超结场效应管,其特征在于,所述栅极层包括:栅极电极层和多晶硅层;

所述栅极电极层与所述第一端连接,所述栅极电极层和所述多晶硅层贴合并均被所述介质层套设。

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