[实用新型]大功率等离子体火炬阴极

权利要求书

1.大功率等离子体火炬阴极，其特征在于，包括：

阴极结构，其为空腔式结构，所述阴极结构的外表面形成有6-18条呈膛线形式或直线形式分布的凹槽；所述阴极结构由前端、中端和后端一体成型构成，阴极结构中端内腔为圆柱形结构，阴极结构前端由衔接处向前直径逐渐变小，其变径角为2°～20°；阴极结构后端由衔接处向后直径逐渐变大，其变径角为2°～20°；所述中端的长度与阴极结构的总长度比为1:1.5～3；

水冷套，其套设于所述阴极的外部。

2.如权利要求1所述的大功率等离子体火炬阴极，其特征在于，所述阴极结构的壁厚为5-30mm，长度为200-600mm，内径为20-60mm；

所述凹槽沿径向截面的周长比阴极结构对应所述凹槽处的弧长2-8mm。

3.如权利要求1所述的大功率等离子体火炬阴极，其特征在于，所述水冷套包括过水法兰、定位环、冷却水进水槽以及冷却水回水槽；

其中，所述过水法兰与阴极结构的前端螺纹连接，所述定位环设置于所述阴极结构的尾端；所述过水法兰和定位环之间由内向外依次设置有冷却水进水槽和冷却水回水槽；

所述冷却水进水槽内壁与所述阴极结构外壁之间的间隙为2-6mm，所述冷却水回水槽内壁与所述冷却水进水槽外壁之间的间隙为2-6mm。

4.如权利要求3所述的大功率等离子体火炬阴极，其特征在于，冷却水进水槽上设置有4～8个均匀分布且相互连通的第一过水槽，所述冷却水回水槽上设置有4～8个均匀分布且相互连通的第二过水槽，所述第一过水槽和所述第二过水槽相互连通；

所述第一过水槽的径向截面与所述第二过水槽的径向截面的面积比为1:1～1.2。

5.如权利要求3所述的大功率等离子体火炬阴极，其特征在于，所述过水法兰与所述阴极结构的前端通过第一密封圈密封，所述定位环与所述阴极结构的尾端通过第二密封圈密封。

6.如权利要求3所述的大功率等离子体火炬阴极，其特征在于，所述阴极结构的尾端沿径向向外形成定位止口，所述定位止口上沿周向设置有4-6个均匀分布的扳手孔。