[实用新型]一种光学真空镀膜系统

说明书

本实用新型涉及材料加工装置技术领域，目的在于提供一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。所采用的技术方案是：一种光学真空镀膜系统，包括真空室、真空泵和侧窗板，所述侧窗板的底边与真空室侧壁铰接；所述侧窗板内壁设置环形牵引链，所述牵引链的水平段设置导轨；所述牵引链远离侧窗板的一侧设置与侧窗板垂直的套筒，所述套筒一端与牵引链焊接、另一端与夹持机构连接；所述侧窗板内壁设置横隔板，所述横隔板将牵引链分隔成上方的第一镀膜部和下方的第二镀膜部，所述第一镀膜部和第二镀膜部均设置蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L型杆顶部的蒸镀喷头，所述L型杆底部远离其拐折部的一端与伺服电机的竖直转轴焊接。本实用新型镀膜均匀。

技术领域

本实用新型涉及材料加工装置技术领域，具体涉及一种光学真空镀膜系统。

背景技术

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射等许多优于固体材料本身的优越性能。现有的真空镀膜装置在对光学镜片进行镀膜时，在光学镜片上的蒸镀点大多固定，这会导致蒸镀在光学镜片表面的镀膜不均匀；因此，有必要研究一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种光学真空镀膜系统，包括真空室，所述真空室设置真空泵和侧窗板，所述侧窗板的底边与真空室侧壁铰接；所述侧窗板内壁设置环形的牵引链，所述牵引链的水平段设置导轨；所述牵引链远离侧窗板的一侧设置与侧窗板垂直的套筒，所述套筒一端与牵引链焊接、另一端与夹持机构连接；所述侧窗板内壁设置横隔板，所述横隔板将牵引链分隔成上方的第一镀膜部和下方的第二镀膜部，所述第一镀膜部和第二镀膜部均设置有蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L型杆顶部的蒸镀喷头，所述L型杆底部远离其拐折部的一端与伺服电机的竖直转轴焊接。

优选的，所述夹持机构包括对称设置的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和第二夹持部均呈弧形；所述第一夹持部与第二夹持部的两端对应设置有螺纹通孔，并通过穿设在螺纹通孔的螺栓连接；所述第一夹持部的中部设置连接杆，所述连接杆远离第一夹持部的一端设置外螺纹，所述套筒设置与连接杆外螺纹配合的内螺纹、并与连接杆螺纹连接。

本实用新型的有益效果集中体现在，本实用新型在第一镀膜部和第二镀膜部均设置了蒸镀装置，蒸镀装置的蒸镀喷头固定在L型杆的顶部，L型杆底部远离其拐折部的一端与伺服电机的竖直转轴焊接，蒸镀喷头会在伺服电机的驱动下绕伺服电机的转轴作圆周运动，伺服电机的转轴会与光学镜片的中心对应，这样一来，蒸镀喷头会绕光学镜片的中心作圆周运动，均匀的对光学镜片的表面进行蒸镀，与通常的固定蒸镀点的镀膜装置相比，蒸镀效果更好、镀膜更均匀。此外，由于牵引链围绕成环形，当固定在夹持机构的光学镜片从第一镀膜部运送到第二镀膜部时，其朝上的一面会翻转到朝下，这样一来，光学镜片的两面就可以分别在第一镀膜部和第二镀膜部进行蒸镀，可以使光学镜片两面镀膜厚度一致，相比同时对光学镜片的两面进行蒸镀、避免了光学镜片镀膜朝下一面厚、朝上一面薄的情况的发生。且本实用新型通过设置环形的牵引链就实现了对光学镜片的两面的分次蒸镀，不需要加设额外的翻转设备，降低了生产成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是夹持机构与牵引链的连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图1～2进一步阐述本实用新型。