[实用新型]改进型石墨坩埚有效
申请号: | 201721842086.8 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN207632923U | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 芮敏之 | 申请(专利权)人: | 美尔森先进石墨(昆山)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 侧板 底板 本实用新型 石墨坩埚 改进型 透气孔 铸锭炉 长方形板状结构 多晶硅铸锭炉 长方体筒状 开口式设计 两端开口 热量分布 上端开口 筒状结构 下端开口 保温层 进出气 上端 侧边 硅锭 炉腔 坩埚 体内 平衡 | ||
1.一种改进型石墨坩埚,用于多晶硅铸锭炉中,其特征在于:包括四个侧板(10)和底板(20),所述底板(20)定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内底部,所述侧板(10)为长方形板状结构,四个侧板(10)的侧边相互连接形成两端开口的长方体筒状结构,所述筒状结构的上端开口定位于铸锭炉的顶部,其下端开口置于所述底板上,所述侧板上设有若干透气孔(11),且其外侧设有一层保温层(30)。
2.根据权利要求1所述的改进型石墨坩埚,其特征在于:所述透气孔(11)设于侧板(10)靠近筒状结构的上端开口处,所述透气孔(11)为一排均匀分布的通孔。
3.根据权利要求1所述的改进型石墨坩埚,其特征在于:所述侧板(10)的最下端设有若干个溢流孔(14),所述溢流孔(14)沿侧板的底边设计,且其为半圆形孔。
4.根据权利要求1所述的改进型石墨坩埚,其特征在于:所述底板(20)为长方形板状结构,且其上、下两面为平面结构。
5.根据权利要求1所述的改进型石墨坩埚,其特征在于:每个侧板的一侧设有上下间隔排布的若干长圆孔(12),另一侧设有若干连接孔(13),四个侧板侧边相接时,一个侧板的连接孔正对相邻侧板的长圆孔,所述连接孔与对应的长圆孔通过碳碳螺丝(40)连接。
6.根据权利要求5所述的改进型石墨坩埚,其特征在于:每个侧板的一侧设有上下间隔且均匀排布的四个长圆孔(12)。
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