[实用新型]一种具有导向加热功能的蒸发舟

说明书

本实用新型公开了一种具有导向加热功能的蒸发舟，包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于镀膜材料舟体两端的电极，镀膜材料舟体具有用于放置镀膜材料的容置部，其特征在于，镀膜材料蒸发舟还包括导向加热装置，镀膜材料导向加热装置的底部与镀膜材料舟体相连并环绕包围镀膜材料容置部，镀膜材料导向加热装置由导电材料制成，在该实用新型中，镀膜材料在蒸发为蒸汽后，不会向四面扩散，只会沿着导向加热装置的内部空间移动，保证了金属蒸汽的利用效率，同时由于导向加热装置本身的高温，可大大提高蒸发速率，也有效防止蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域，大大地减少了镀膜材料的损失和浪费。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种具有导向加热功能的蒸发舟。

背景技术

真空镀膜机是指在较高真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源，现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。

现有的蒸发舟一般采用在蒸发舟中部设有凹槽，待蒸发的镀膜材料位于所述凹槽中，蒸发舟两端被夹具夹持并通电形成两极，在现有蒸发过程中，一方面，经常会出现蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域，造成材料的损失，另一方面由于蒸发舟完全敞开，蒸发材料蒸发产生的镀膜材料蒸汽会向各个方向扩散，也会造成材料损失。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种用于真空镀膜机的蒸发舟，已解决现有技术蒸发舟蒸发镀膜材料时材料损失严重，利用率低的技术问题。

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种具有导向加热功能的蒸发舟，包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于所述舟体两端的电极，所述舟体具有用于放置镀膜材料的容置部，所述蒸发舟还包括导向加热装置，所述导向加热装置的底部与所述舟体相连并环绕包围所述容置部，所述导向加热装置由导电材料制成。

可选的，所述导电加热管为两端开口的中空圆锥台形状，所述导向加热装置的底部截面小于所述顶部截面。

可选的，所述导向加热装置底部通过螺纹连接结构或者卡扣连接结构可拆卸的连接于所述舟体上。

可选的，所述导向加热装置底部通过焊接与所述舟体表面固定连接。

可选的，所述所述导向加热装置采用高熔点的金属材料制成。

可选的，所述所述导向加热装置采用金属钨、金属钼或者钛合金制成。

可选的，所述容置部为开设在所述舟体表面的凹坑，所述凹坑位于两个所述电极中间。

可选的，所述容置部为可拆卸安装在所述舟体表面的环形加热片所围成的容置腔，所述环形加热片位于两个所述电极中间。

本实用新型所提供的一种具有导向加热功能的蒸发舟，由于其包括导向加热装置，该导向加热装置的底部与舟体相连并环绕包围放置镀膜材料的容置部，且该导向加热装置由导电材料制成，这样镀膜材料在蒸发为蒸汽后，不会向四面扩散，只会沿着导向加热装置的内部空间移动，保证了金属蒸汽的利用效率，同时由于导向加热装置本身的高温，可大大提高蒸发速率，也有效防止蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域，大大地减少了镀膜材料的损失和浪费。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不应构成本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型实施例一的结构示意图；

图2为本实用新型实施例二的结构示意图；

图3为本实用新型实施例3的结构示意图；

具体实施方式