[实用新型]一种激光陀螺腔体清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种激光陀螺腔体清洗装置，包括用于承载激光陀螺腔体的腔体固定工装、用于使腔体内的氦氖气体放电的直流电源以及用于腔体内气体置换的真空台，还包括分别位于腔体两侧端面上用于给腔体加载射频能量的第一外置电极板和第二外置电极板，真空台与腔体气密连接，第一外置电极板和第二外置电极板通过同轴线缆依次连接有射频匹配器和射频电源；本实用新型使得腔体每条毛细孔均得到辉光放电清洗，射频辉光放电清洗的过程不受激光陀螺自身的放电系统的限制，且射频等离子体的能量高、功率强度调节方便，工艺时间短，有效的延长了激光陀螺的使用寿命。

技术领域

本实用新型属于激光陀螺制造技术领域，具体涉及一种激光陀螺腔体清洗装置。

背景技术

激光陀螺腔体主要采用膨胀系数较低的微晶玻璃或者石英玻璃材料，腔体钻有毛细孔，然后在腔体上封接一个阴极和两个阳极，在多边形顶点处光胶反射镜，构成密闭环形光路，腔体内充入一定比例的氦气、氖气混合气体做为增益介质，在阴极和两个阳极之间施加高压，使氦氖气体激发形成激光增益构成沿相反方向运行的两束环形激光。

氦氖气体的纯度直接关系到激光陀螺性能的稳定性和寿命。由于气体吸附作用，腔体材料会残存大量的杂气，而且腔体内表面可能会残存一定的污染物和氧化层，这都会影响所充入的氦氖气体的纯度。因此对腔体进行除气和去除污染物是十分必要的。为了使腔体毛细孔内表面达到原子级别的洁净度，目前使用最广泛的是直流放电清洗方法，但是这种方法存在一定的弊端，主要表现为直流放电清洗仅能对阴极和两个阳极构成的放电臂进行清洗，而不能对另外一臂进行清洗，而且为防止阴极溅射，一般直流放电的电流较低，产生的等离子体能量较低所需工艺时间长。

实用新型内容

本实用新型的目的在于根据现有技术的不足，设计一种激光陀螺腔体清洗装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种激光陀螺腔体清洗装置，包括用于承载激光陀螺腔体的腔体固定工装、用于使腔体内的氦氖气体放电的直流电源以及用于腔体内气体置换的真空台，还包括分别位于腔体两侧端面上用于给腔体加载射频能量的第一外置电极板和第二外置电极板，所述的真空台与腔体气密连接，所述的第一外置电极板和第二外置电极板通过同轴线缆依次连接有射频匹配器和射频电源。

所述的第一外置电极板包括配合使用的第一电极槽、第一铜质电极和第一盖板，所述的第二外置电极板包括配合使用第二电极槽、第二铜质电极和第二盖板，所述的第一外置电极板和第二外置电极板通过螺钉将腔体一体固定连接在腔体固定工装上。

所述的第一铜质电极和第二铜质电极上分别设置有向外延伸的第一电极杆和第二电极杆，所述的同轴线缆的输出终端设置有两个可插拔接头。

所述的第一电极槽和螺钉之间还设置有垫片。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型能使激光陀螺腔体的每条毛细孔均得到辉光放电清洗，射频辉光放电清洗的过程不受激光陀螺自身的放电系统的限制，且射频等离子体的能量高、功率强度调节方便、工艺时间短，有效的延长了激光陀螺的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的外置电极板、腔体和腔体固定工装的装配图。

各附图标记为：1—射频电源，2—射频匹配器，3—同轴线缆，4—腔体固定工装，5—直流电源，6—第一外置电极板，7—真空台，8—第二外置电极板，9—腔体，10—第二电极槽，11—第二铜质电极，12—第二盖板，13—垫片，14—螺钉，15—第一电极槽，16—第一铜质电极，17—第一盖板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。