[实用新型]背照式图像传感器有效
申请号: | 201721854424.X | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN207834299U | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 赵立新;李杰 | 申请(专利权)人: | 格科微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 源跟随晶体管 光电二极管 背照式图像传感器 半导体材料层 横梁结构 顶面 鳍式场效应晶体管 本实用新型 浮置扩散区 复位晶体管 图像传感器 转移晶体管 工艺难度 侧面 沟道区 连通 隔离 覆盖 保证 | ||
1.一种背照式图像传感器,其特征在于,包括:
半导体材料层;
位于半导体材料层的光电二极管;
转移晶体管、浮置扩散区、源跟随晶体管、复位晶体管;
其中,所述光电二极管为P型掺杂区域;所述源跟随晶体管为鳍式场效应晶体管,所述源跟随晶体管的沟道区区域为横梁结构,所述横梁结构具有顶面和两个侧面,源跟随晶体管的栅极覆盖所述顶面和两个侧面的至少其中一面;所述源跟随晶体管为NMOS晶体管。
2.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,所述源跟随晶体管的横梁结构底部对应的半导体材料层具有P型掺杂区域,所述P型掺杂区域与光电二极管的P型掺杂区域之间由N型掺杂区域隔离。
3.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,相邻光电二极管之间由N型掺杂区域隔离。
4.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,所述光电二极管的上部具有N型钉扎层。
5.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,所述浮置扩散区为横梁结构,所述浮置扩散区耦接于源跟随晶体管的栅极。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的