[实用新型]背照式图像传感器有效

专利信息
申请号: 201721854424.X 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN207834299U 公开(公告)日: 2018-09-07
发明(设计)人: 赵立新;李杰 申请(专利权)人: 格科微电子(上海)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 源跟随晶体管 光电二极管 背照式图像传感器 半导体材料层 横梁结构 顶面 鳍式场效应晶体管 本实用新型 浮置扩散区 复位晶体管 图像传感器 转移晶体管 工艺难度 侧面 沟道区 连通 隔离 覆盖 保证
【权利要求书】:

1.一种背照式图像传感器,其特征在于,包括:

半导体材料层;

位于半导体材料层的光电二极管;

转移晶体管、浮置扩散区、源跟随晶体管、复位晶体管;

其中,所述光电二极管为P型掺杂区域;所述源跟随晶体管为鳍式场效应晶体管,所述源跟随晶体管的沟道区区域为横梁结构,所述横梁结构具有顶面和两个侧面,源跟随晶体管的栅极覆盖所述顶面和两个侧面的至少其中一面;所述源跟随晶体管为NMOS晶体管。

2.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,所述源跟随晶体管的横梁结构底部对应的半导体材料层具有P型掺杂区域,所述P型掺杂区域与光电二极管的P型掺杂区域之间由N型掺杂区域隔离。

3.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,相邻光电二极管之间由N型掺杂区域隔离。

4.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,所述光电二极管的上部具有N型钉扎层。

5.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于,所述浮置扩散区为横梁结构,所述浮置扩散区耦接于源跟随晶体管的栅极。

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