[实用新型]一种射频感应耦合等离子体中和器

权利要求书

1.一种射频感应耦合等离子体中和器，包括：用于容纳放电等离子体的等离子体放电腔(1)、高压绝缘气路装置(2)、射频耦合天线(4)、用于收集离子和屏蔽射频容性耦合的阴极(3)、屏蔽外壳(10)和用于从等离子体放电腔(1)中抽取电子束的阳极(7)，其特征在于：

所述等离子体放电腔(1)为中空结构，其上端设有进气孔，下端设有电子束引出孔，等离子体放电腔(1)安装在屏蔽外壳(10)内部，屏蔽外壳(10)内部中间位置固定安装有固定法兰(12),等离子体放电腔(1)安装在固定法兰(12)上；

等离子体放电腔(1)上端设有气体入口，下端设有电子束引出口，屏蔽外壳(10)上端设置有气体入口，位置和等离子体放电腔(1)上端的气体入口位置对应，屏蔽外壳(10)上端气体入口和等离子体放电腔(1)上端进气孔之间设置有气路，屏蔽外壳(10)上端气体入口和等离子体放电腔(1)上端进气孔之间的部分的气路上装有高压绝缘气路装置(2)；

圆柱形陶瓷等离子体放电腔(1)外壁加工有螺旋形槽，用于安装射频耦合天线(4)，同时也提高了射频耦合天线(4)每匝间的绝缘强度，在等离子体放电腔(1)外壁下端的环形槽处设置有引线管路，引线管路穿过固定法兰(12)后再穿过屏蔽外壳(10)，使得射频电源(6)通过匹配网络(5)与射频耦合天线(4)相连；

阴极(3)位于等离子体放电腔(1)内部，在横切射频耦合天线(4)卷绕方向上有一个窄缝，阴极(3)窄缝处设有放电触发针(11)；

等离子体放电腔(1)内阴极(3)和位于等离子体放电腔(1)下端的阳极构成射频感应耦合等离子体中和器电子束的引出系统，阳极(7)上开有引出孔，且该引出孔与等离子体放电腔(1)下端引出孔对正，其中阳极(7)和阴极(3)之间通过阳极电源(8)施加正偏压，阴极(3)和地之间通过阴极电源(9)施加负偏压。

2.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：所述等离子体放电腔(1)采用低介质损耗的绝缘介质构成。

3.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：所述阴极(3)呈筒形。

4.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：所述阴极(3)紧贴等离子体放电腔(1)内壁。

5.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：所述阴极(3)窄缝处设置的放电触发针(11)，射频电源(6)、匹配网络(5)、射频耦合天线(4)、等离子体放电腔(1)、阴极(3)和高压绝缘气路装置(2)共同构成等离子体放电起辉维持系统。

6.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：所述等离子体放电腔(1)可以为中空长方体结构，也可以为中空圆柱体结构。

7.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：所述屏蔽外壳(10)和等离子体放电腔(1)上设置有两组对应的气体入口，屏蔽外壳(10)和等离子体放电腔(1)之间设置的气路数量为两路。

8.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：所述阳极(7)和等离子体放电腔(1)下端开设有多组相互对应的引出孔。

9.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：阳极(7)和阴极(3)之间通过阳极电源(8)施加0-30V正偏压。

10.如权利要求1所述的一种射频感应耦合等离子体中和器，其特征在于：阴极(3)和地之间通过阴极电源(9)施加0-70V负偏压。