[实用新型]等离子体灯丝气体离子源装置有效
| 申请号： | 201721875136.2 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN208111394U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 苏东艺;彭继华 | 申请（专利权）人： | 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 黄华莲;郝传鑫 |
| 地址： | 510070 广东省广州市经济技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离化 缠绕 灯丝 气体离子源装置 等离子体 本实用新型 杂质原子 外侧壁 进气口 出口 被加工工件 离子源设备 灯丝组件 内侧壁 捕获 连通 发射 污染 | ||
1.一种等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，包括均呈筒形的第一离化筒和第二离化筒，所述第一离化筒的一端设有第一进气口且所述第一离化筒的另一端设有第一逸出口，所述第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈，所述第一离化筒内设有灯丝组件；所述第二离化筒的一端与所述第一逸出口连通，所述第二离化筒的另一端设有第二逸出口，所述第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈。
2.根据权利要求1所述的等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，所述灯丝组件包括相对设置的灯丝和反射极板，所述反射极板位于所述灯丝和第一逸出口的中心线之间，所述灯丝和反射极板之间为并联连接。
3.根据权利要求2所述的等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，所述反射极板平行于所述第一逸出口的中心线。
4.根据权利要求2所述的等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，所述灯丝组件的数量为偶数个，且所述灯丝组件呈对称设置。
5.根据权利要求2所述的等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，所述反射极板的材质为难熔金属。
6.根据权利要求1所述的等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，所述第二离化筒上设有第二进气口。
7.根据权利要求1所述的等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，还包括聚焦线圈，所述聚焦线圈位于第二离化筒之外并对应所述第二逸出口设置，所述聚焦线圈的轴线和所述第二逸出口的轴线平行或者重合。
8.根据权利要求1所述的等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，所述第二逸出口上设有端盖板，所述第二离化筒与所述端盖板绝缘，所述灯丝的正极和所述端盖板均接地设置。
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