[实用新型]炉管控压阀的安装治具

说明书

一种炉管控压阀的安装治具，包括：支撑平台，用于支撑炉管控压阀；升降平台，包括底座和设置于所述底座、且沿高度方向延伸的立柱；所述立柱上设有沿所述高度方向延伸的滑槽，所述支撑平台具有滑块，所述滑块固定设置于所述滑槽，且适于沿所述滑槽滑移。通过控制滑块滑移，能够调整支撑平台的高度，即调整炉管控压阀的高度。在炉管控压阀安装或拆卸的过程中，安装治具能够支撑炉管控压阀，无需工作人员人工对炉管控压阀施加作用力，从而能够有效防止炉管控压阀砸伤或夹伤工作人员，使炉管控压阀的安装和拆卸变得更为容易，方便对炉管装置进行维修和保养。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种炉管控压阀的安装治具。

背景技术

炉管装置是半导体制程中的基本设备，主要用于晶圆的氧化、掺杂及热处理等程序。使用过程中，晶圆放置在炉管装置的内部，对炉管装置进行加热、并向炉管装置通入工艺气体，以实现对晶圆的氧化、掺杂和热处理。

炉管装置具有炉管控压阀，炉管控压阀设置在工艺气体的流道上，用于控制工艺气体的流量。当炉管装置发生故障或需要保养时，可能需要拆卸炉管控压阀，以对炉管装置、炉管控压阀进行维修或检查。

但是，炉管控压阀具有较大的质量(约25Kg)，且现有炉管装置中炉管控压阀的安装空间比较小，导致炉管控压阀的安装、拆卸较为困难，甚至可能会砸伤或夹伤工作人员，对正常维修或保养造成极大的不便。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是现有炉管装置中炉管控压阀的安装、拆卸较为困难，对正常维修或保养造成极大的不便。

为解决上述问题，本实用新型提供一种炉管控压阀的安装治具，包括：支撑平台，用于支撑炉管控压阀；升降平台，包括底座和设置于所述底座的立柱；所述立柱上设有沿所述高度方向延伸的滑槽，所述支撑平台具有滑块，所述滑块固定设置于所述滑槽，且适于沿所述滑槽滑移。

可选的，所述支撑平台包括：旋转座，具有用于支撑炉管控压阀的支撑面；基台，所述滑块固定设置于所述基台；所述旋转座设置于所述基台，且适于在竖直平面内相对所述基台旋转，以改变所述支撑面的朝向。

可选的，所述旋转座具有与所述支撑面背对设置的第一圆弧面，所述基台具有背向所述立柱的第二圆弧面；所述第一圆弧面贴合设置于所述第二圆弧面，且适于相对所述第二圆弧面滑动，以使所述旋转座发生旋转；其中，所述第一圆弧面、第二圆弧面分别为一段圆弧沿水平方向延伸所形成的面。

可选的，所述第一圆弧面上设有沿周向设置的多个第一限位孔，所述第二圆弧面上设有与所述第一限位孔相配合的第二限位孔；所述支撑平台还包括限位件，所述限位件适于插设在所述第一限位孔和第二限位孔，以固定所述旋转座和基台。

可选的，所述第二限位孔贯穿基台背向所述第二圆弧面的一端，所述第二限位孔具有内螺纹；所述限位件具有与所述内螺纹相配合的外螺纹。

可选的，所述滑槽内设有沿高度方向延伸的螺纹杆，所述滑块具有与所述螺纹杆相配合的螺纹孔，通过旋转所述螺纹杆实现所述滑块沿所述滑槽滑移。

可选的，所述升降平台还包括配合设置的涡轮和蜗杆，所述蜗杆固定设置在所述螺纹杆的轴向一端，且与所述螺纹杆位于同一直线上。

可选的，所述升降平台还包括设置于所述底座的导轨装置，所述导轨装置具有沿第一水平方向延伸的第一导轨，所述立柱设置于所述第一导轨上，适于沿所述第一导轨滑移。

可选的，所述底座上固定设有沿第二水平方向延伸的第二导轨，所述导轨装置设置在所述第二导轨上，适于沿所述第二导轨滑移；其中，所述第一水平方向垂直于所述第二水平方向。

可选的，所述导轨装置具有多个所述第一导轨，多个所述第一导轨沿所述第二水平方向依次设置；和/或，所述底座上固定设有多个第二导轨，多个所述第二导轨沿所述第一水平方向依次设置。