[实用新型]一种芯片封装工艺段的导电胶定型装置有效
申请号: | 201721884901.7 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN207637759U | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 曾尚文;陈久元;杨利明 | 申请(专利权)人: | 四川晶辉半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 629000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电胶 定型炉 外箱体 承接架 芯片封装工艺 本实用新型 可拆卸盖板 定型装置 承接板 散热 微孔 顶部设置 定型工艺 定型过程 定型效率 废热气体 工艺要求 集中排放 密封装配 内部设置 有效控制 导热层 定型 拼接 封装 半导体 装配 保证 排放 | ||
本实用新型涉及一种芯片封装工艺段的导电胶定型装置,包括定型炉外箱体,定型炉外箱体顶部设置可拆卸盖板,定型炉外箱体与可拆卸盖板密封装配,定型炉外箱体内部设置由半导体导热层板拼接而成的梯形承接架,梯形承接架上均匀布设有散热微孔,梯形承接架上装配导电胶承接板;导电胶承接板上均匀布设有散热微孔。本实用新型对定型过程中的温度进行有效控制,有助于提高定型效率,保证定型质量,获得符合工艺要求的导电胶,保证封装质量;对定型工艺段排放的废热气体进行集中排放,降低对操作人员的危害。
技术领域
本实用新型涉及芯片封装技术领域,尤其是与一种芯片封装工艺段的导电胶定型装置有关。
背景技术
用于芯片封装的导电胶,只有在固化定型后才能达到应用要求,现有技术在进行导电胶定型时,无法对定型工艺段的温度进行有效控制,影响定型效率和定型质量,与此同时,整个定型及干燥工艺处于相对开放的环境,定型过程中过程中产生的废热气体直接排放至生产车间,对操作人员的健康造成极大影响。
实用新型内容
本实用新型提供一种芯片封装工艺段的导电胶定型装置,对定型过程中的温度进行有效控制,提高定型效率,保证定型质量,获得符合工艺要求的导电胶,保证封装质量;对定型工艺段排放的废热气体进行集中排放,降低对操作人员的危害。
为了实现本实用新型的目的,拟采用以下技术方案:
一种芯片封装工艺段的导电胶定型装置,包括定型炉外箱体(1),定型炉外箱体(1)顶部设置可拆卸盖板(11),定型炉外箱体(1)与可拆卸盖板(11)密封装配,定型炉外箱体(1)内部设置由半导体导热层板拼接而成的梯形承接架(2),梯形承接架(2)上均匀布设有散热微孔,梯形承接架(2)上装配导电胶承接板(21);导电胶承接板(21)上均匀布设有散热微孔;
所述导电胶承接板(21)正下方设置环形导热腔(3),环形导热腔(3)底部设置电加热式鼓风机(5),电加热式鼓风机(5)的进口端装配有可拆卸空气过滤柱(6),电加热式鼓风机(5)与环形导热腔(3)之间设置柱形半导体散热器(4);
所述定型炉外箱体(1)内侧壁设置有与梯形承接架(2)形状一致的热辐射式电加热基板(101),热辐射式电加热基板(101)内靠近梯形承接架(2)一侧设置有与梯形承接架(2)形状一致的锥形半导体散热器(102);
所述热辐射式电加热基板(101)及锥形半导体散热器(102)均与梯形承接架(2)设置为同心结构;
所述定型炉外箱体(1)顶部设置有排气管(1101),排气管(1101)顶部装配温控式电磁控制开关阀(1102);
所述锥形半导体散热器(102)与梯形承接架(2)之间设置温度传感器(1104),温度传感器(1104)外接PLC控制器(1103),PLC控制器(1103)与温控式电磁控制开关阀(1102)连接。
进一步,所述可拆卸盖板(11)外接有循环风机(7),循环风机(7)的进风口端由可拆卸盖板(11)内侧壁引出,循环风机(7)的出风口端延伸至电加热式鼓风机(5)的进风口端。
进一步,所述导电胶承接板(21)呈台阶式分布可拆卸地装配于梯形承接架(2)上。
进一步 ,所述定型炉外箱体(1)设置为透明体结构。
进一步 ,所述锥形半导体散热器(102)与梯形承接架(2)之间预设有2~3cm的水平距离。
进一步 ,所述锥形半导体散热器(102)与热辐射式电加热基板(101)之间预设有2~3cm的水平距离。
本实用新型的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造