[实用新型]一种中红外波段可调谐法诺共振谐振器有效
| 申请号： | 201721889271.2 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN208060893U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 宫绍康;肖丙刚 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 共振 法诺 本实用新型 中红外波段 谐振器 谐振器件 可调谐 石墨烯 三维周期性结构 调谐 表面等离子体 二氧化硅介质 谐振器结构 谐振 红外技术 红外频段 计算模拟 结构组成 三层结构 圆盘层 中间层 顶层 堆叠 光谱 基底 紧凑 激发 加工 优化 | ||
【权利要求书】：
1.一种中红外波段可调谐法诺共振谐振器，其特征在于：结构组成为以材料硅作为基底，顶层为圆盘形石墨烯，圆盘形石墨烯中有圆形刻孔，圆盘形石墨烯与基底之间以二氧化硅介质隔开。
2.根据权利要求1所述的一种中红外波段可调谐法诺共振谐振器，其特征在于：二氧化硅介质厚度d为50nm，基底厚度h为100nm。
3.根据权利要求1所述的一种中红外波段可调谐法诺共振谐振器，其特征在于：圆盘形石墨烯的半径为40nm，圆形刻孔的半径为15nm，圆形刻孔偏移L为15nm。
4.根据权利要求1所述的一种中红外波段可调谐法诺共振谐振器，其特征在于：圆盘形石墨烯采用氧化石墨还原法来制作，圆盘形石墨烯中圆形刻孔通过激光刻蚀来制作。
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