[实用新型]多层压电陶瓷执行器

说明书

本实用新型提供了一种多层压电陶瓷执行器，涉及压电陶瓷元器件技术领域，本实用新型提供的多层压电陶瓷执行器包括多层平行间隔排布的压电陶瓷、设于相邻两层压电陶瓷之间的内电极、两个沿竖直方向分别设于多层压电陶瓷两侧的外电极，内电极的一端与一个外电极接触，另一端与另一个外电极之间设置有绝缘层，沿竖直方向相邻两层绝缘层交错布置，沿着垂直于外电极的方向，绝缘层的宽度为10－100μm。在制备过程中，本实用新型提供的多层压电陶瓷执行器的边缘不会产生裂纹，在截面面积相同的执行器中，具有更大的出力。

技术领域

本实用新型涉及压电陶瓷元器件技术领域，尤其是涉及一种多层压电陶瓷执行器。

背景技术

多层压电陶瓷执行器主要应用于：精密力学及机械工程、生命科学、医学及生物学、气/液压阀、纳米定位/高速开关和主动、自适应光学等领域。

如图1所示，图1为现有技术中一种多层压电陶瓷执行器的结构示意图。

图1中的多层压电陶瓷执行器包括多层平行间隔排布的压电陶瓷1，相邻的两层压电陶瓷之间设有一个内电极2，多层压电陶瓷1的两侧分别设有一个外电极3，且外电极3沿竖直方向延伸，相邻的两个内电极分别与不同的外电极3连接。

现有技术中，由于内电极本身具有一定的厚度，特别是当多层内电极层叠设置时，多层压电陶瓷间内电极的叠加部分与非叠加部分之间的厚度差逐渐增大，导致烧结后，执行器的边缘容易产生裂纹，且执行器的出力小。

因此，如何提供一种避免执行器制备过程中边缘产生裂纹且执行器出力较大的多层压电陶瓷执行器是本领域技术人员需解决的技术问题之一。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多层压电陶瓷执行器，以解决现有技术中执行器制备过程中边缘易产生裂纹且执行器出力较小的技术问题。

本实用新型提供一种多层压电陶瓷执行器，包括多层平行间隔排布的压电陶瓷、设于相邻两层所述压电陶瓷之间的内电极、两个沿竖直方向分别设于多层所述压电陶瓷两侧的外电极，所述内电极的一端与一个所述外电极接触，另一端与另一个所述外电极之间设置有绝缘层，沿竖直方向相邻两层所述绝缘层交错布置，沿着垂直于所述外电极的方向，所述绝缘层的宽度为10－100μm。

进一步地，所述绝缘层的材料为高分子绝缘材料。

进一步地，所述绝缘层的材料为纳米氧化铝。

进一步地，沿着竖直方向，所述绝缘层的厚度等于所述内电极的厚度。

进一步地，所述内电极的宽度加所述绝缘层的宽度等于所述压电陶瓷的宽度。

进一步地，所述压电陶瓷为改性PZT压电陶瓷。

进一步地，所述压电陶瓷为无铅压电陶瓷。

进一步地，所述压电陶瓷呈长方体结构。

进一步地，两个所述外电极分别设于多层所述压电陶瓷相对的两侧。

本实用新型提供的多层压电陶瓷执行器能产生如下有益效果：

在现有技术中的执行器中，为了避免一片内电极同时与两片外电极接触，内电极一端与一个外电极接触，内电极的另一端与另一个外电极之间具有较大的空隙，约为500μm，不仅容易导致烧结过程中出现裂纹，还降低了执行器的出力。本实用新型提供的多层压电陶瓷执行器中，绝缘层能够防止一片内电极同时与两片外电极接触，同时绝缘层能够补偿内电极非叠加部分中相邻两片压电陶瓷之间的空隙，使得上述多层压电陶瓷执行器制备完毕后压电陶瓷、内电极与绝缘层之间能够紧密的贴合，执行器边缘不会产生裂纹，有效的延长执行器的使用寿命，并且由于绝缘层的宽度为10－100μm，增加了内电极与压电陶瓷之间的接触面积，在截面面积相同的执行器中，具有更大的出力。

附图说明