[实用新型]一种三T型OLED蒸镀线源有效
| 申请号： | 201721897783.3 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699656U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 201506 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线源 蒸镀 气流平衡管 坩埚 本实用新型 喷嘴 等间距设置 喷嘴排列 有机材料 密封 | ||
【权利要求书】：
1.一种三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：
三个坩埚(3)，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；
三个气流平衡管(4)，每个气流平衡管(4)分别与一个坩埚(3)相连；每个气流平衡管(4)的顶部分别设有多个喷嘴(1)，所有的所述喷嘴(1)排列为一排。
2.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，中间的气流平衡管(4)上的多个喷嘴(1)的间距大于两侧的气流平衡管(4)上的多个喷嘴(1)的间距。
3.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述气流平衡管(4)的外围设有平衡管加热丝(6)。
4.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述喷嘴(1)的外围设有喷嘴加热丝(7)。
5.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述坩埚(3)的外围设有坩埚加热丝(5)。
6.根据权利要求1-5中的任意一项所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述气流平衡管(4)的中部设有与所述坩埚(3)的顶端相连的竖直管状结构。
7.根据权利要求6所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，所述竖直管状结构的直径大于所述坩埚(3)的直径。
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