[实用新型]一种单晶炉旋板阀

说明书

本实用新型涉及一种单晶炉旋板阀，包括水冷轴、阀盖板、阀盖板连接杆、阀盖板升降旋转装置和阀前座，所述阀前座侧方设有阀侧盖，所述阀前座内部设有阀盖板，所述阀盖板上部中心处与阀盖板连接杆的其中一端通过活动耳轴铰接，所述阀盖板连接杆的另一端连接位于阀侧盖上方的阀盖板升降旋转装置，所述阀盖板升降旋转装置套装在水冷轴上，所述水冷轴贯穿阀侧盖且向上延伸，所述水冷轴顶端设有升降气缸，所述阀盖板升降旋转装置销轴连接旋转气缸，实现阀盖板水平旋转，将单晶炉阀板的运动方式由竖直旋转改变为水平旋转。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备领域，具体涉及一种单晶炉旋板阀。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备；单晶炉包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构，隔离阀的作用是为籽晶或单晶提供进入副炉室的通道，同时可以维持上下炉室的局部压力和温度，现在使用的隔离阀大多为阀板运动方式是竖直运动的翻板阀，使用翻板阀需要占据较高的空间，厂房高度不变的情况下给单晶炉副室预留的空间减少，减少了单晶硅棒的单炉产量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉旋板阀。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：包括水冷轴、阀盖板、阀盖板连接杆、阀盖板升降旋转装置和阀前座，所述阀前座侧方设有阀侧盖，所述阀前座内部设有阀盖板，所述阀盖板上部中心处与阀盖板连接杆的其中一端通过活动耳轴铰接，所述阀盖板连接杆的另一端连接位于阀侧盖上方的阀盖板升降旋转装置，所述阀盖板升降旋转装置套装在水冷轴上，所述水冷轴贯穿阀侧盖且向上延伸，所述水冷轴顶端设有升降气缸，所述阀盖板升降旋转装置销轴连接旋转气缸，实现阀盖板水平旋转。

在优选的实施方案中，所述阀前座上下两端分别设有上法兰和下法兰，所述下法兰内侧设有用于密封阀盖板的密封圈，所述上法兰上均匀有设有多个定位销。

在优选的实施方案中，所述阀前座侧方设有一道圆门，所述圆门中心处设有圆形观察窗。

在优选的实施方案中，所述旋转气缸其中一端与阀盖板升降旋转装置通过关节轴承销轴连接，另一端通过旋转轴固定安装在阀前座顶部。

在优选的实施方案中，所述阀盖板上设有第一进水口和第一出水口，所述水冷轴下方设有第二进水口和第二出水口，所述第一进水口、第一出水口、第二进水口和第二出水口均用于水冷降温。

在优选的实施方案中，所述阀侧盖上下两端均设有密封压盖，所述密封压盖套装在水冷轴外围。

在优选的实施方案中，所述阀前座上固定设有气缸支架，所述升降气缸安装在气缸支架上。

本实用新型的有益效果为：将单晶炉阀板的运动方式由竖直旋转改变为水平旋转，在确保实现阀盖板开闭密封的技术效果的前提下，缩短了单晶炉旋板阀的高度空间，在厂房高度不变的前提下为单晶炉副室预留更大的空间，从而提高单晶硅棒的单炉产量。

附图说明

下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型实施例所述的单晶炉旋板阀的外部结构图；

图2是本实用新型实施例所述的单晶炉旋板阀的正视图；

图3是本实用新型实施例所述的单晶炉旋板阀的俯视图。

图中：

1、阀前座；2、阀盖板；3、阀盖板连接杆；4、阀侧盖；5、阀盖板升降旋转装置；6、水冷轴；7、升降气缸；8、旋转气缸；9、关节轴承；10、旋转轴；11、密封压盖；12、气缸支架；13、定位销；14、观察窗；15、第一进水口；16、第一出水口；17、第二进水口；18第二出水口19、上法兰；20、下法兰。