[实用新型]一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置

说明书

本实用新型涉及一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置，包括：坩埚（1），坩埚上面设有出气管（5），出气管上端设有锥形阀门（6），出气管上端连接输气管（8）的前段（8A），输气管的后段（8B）中设置一组喷嘴（9），输气管的后段（8B）设置在镀膜线的真空腔室中；其特征在于：锥形阀（6）与坩埚之间的出气管（5）中设有自封密封阀体（7），用于防止在连续镀膜机密封阀上沉积膜金属膜。实用新型的有益效果是：产线的稼动率作为一个重要的设备性能考核指标，而采用此种方式蒸发镀膜，可以大大的降低设备停机时间，提高设备稼动率，提高生产效率，节约生产成本，适应大规模连续生产。

技术领域

本实用新型涉及用于太阳能薄膜电池生产中的真空镀膜领域，特别是涉及一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置。

背景技术

热蒸发镀膜法是在真空环境中利用电流加热、电子束加热、或激光加热等方法使蒸发材料变成团簇、分子或原子，以较大的自由程作近自由运动，当这些自由运动的分子或原子碰撞到温度较低的基片，就在基片上凝结下来，沉积覆盖在基片上形成薄膜。热蒸发镀膜法具有纯度高、结晶好的优点，常用于金属薄膜、半导体薄膜、薄膜太阳能电池材料的生产制作。

在生产中，衬底的尺寸通常较大，所以一般生产线都是采用多个热蒸发源喷嘴均与或有序分布在基片一侧，对基片进行沉积，而此种方式会因为蒸发源出气管密封不严，在蒸发原料用完后进行重新装填原料存在操作困难、效率低下的问题，很难进行连续生产。

实用新型内容

为本实用新型的目的就是为了解决以上的技术问题，本实用新型提供一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置，能够真正连续生产，不因原材料不够问题而停产的设备。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置，包括：

装载蒸发材料的双层结构的坩埚，坩埚内层设有加热组件、外层设有冷却水管；

坩埚侧面设有进料口、上面设有蒸发出气口，蒸发出气口上设有出气管，出气管上端设有锥形阀门；

出气管上端连接输气管的前段，输气管的后段中采用线状排列设置一组喷嘴9，输气管的后段设置在镀膜线的真空腔室中；

坩埚设有与夹层相连的真空抽气装置、以及用于快速冷却坩埚及输气管道的氮气装置；

其特征在于：锥形阀与坩埚之间的出气管中设有自封密封阀体，用于防止在连续镀膜机密封阀上沉积膜金属膜；

所述的自封密封阀为环状组件，包括外层保温管及内层加热盘，外层保温管及内层加热盘之间设有间隙与出气管的夹层联通，内层加热盘中均布一组与出气管内腔联通的锥形孔，内层加热盘外圆面设有一组冷却管，冷却管上设有安全阀。

进一步优化方案为，自封密封阀采用进气口的面积是出气口面积的二倍，总的出气面积与出气管的横截面积相等，并且进气口位于坩埚一侧、出气口位于锥形阀一侧。如此设计既可以保证蒸汽流整体流动的稳定性。又可以在冷却状态时，进气口因冷却而使蒸发料形成固态，达到密封的目的，并且当坩埚进行填料作业时，因破空而致的两侧压力差，使自封密封阀有更好的密封作用。

本实用新型的有益效果是：产线的稼动率（是指一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值）作为一个重要的设备性能考核指标，而采用此种方式蒸发镀膜，可以大大的降低设备停机时间，提高设备稼动率，提高生产效率。节约生产成本。适应大规模连续生产。

附图说明

图 1热蒸发镀膜系统示意图；

图2是连续镀膜装置的结构示意图；

图3是自封密封阀体安装在出气管中的结构示意图；

图4是图3中的自封密封阀体的仰视图。