[实用新型]一种太阳能硅片的清洗装置

说明书

本实用新型提供一种鼓泡与超声波相结合的太阳能硅片的清洗装置，设置鼓泡器和鼓泡管，促进清洗槽内清洗液的流动，增加清洗液与太阳能硅片的接触面积，从而提高清洗效率，相比于单一的超声波清洗装置，该装置所需要的超声波功率小，超声与鼓泡相结合确保清洗效率；为减少太阳能硅片的震动摩擦，该清洗装置配置有清洗花篮。

技术领域

本实用新型涉及清洗装置，尤其涉及一种太阳能硅片的清洁清洗装置。

背景技术

太阳能硅片的清洗很重要，它影响电池的转换效率，如器件的性能中反向电流迅速加大及器件失效等，因此硅片的清洗很重要，太阳能硅片的清洗的作用有：

1）在太阳能材料制备过程中，在硅表面涂有一层具有良好性能的减反射薄膜，有害的杂质离子进入二氧化硅层，会降低绝缘性能，清洗后绝缘性能会更好。

2）在等离子边缘腐蚀中，如果有油污、水气、灰尘和其它杂质存在，会影响器件的质量，清洗后质量大大提高。

3）硅片中杂质离子会影响P-N结的性能，引起P-N结的击穿电压降低和表面漏电，影响P-N结的性能。

4）在硅片外延工艺中，杂质的存在会影响硅片的电阻率不稳定。

目前在半导体生产清洗过程中已经广泛采用超声波清洗技术。超声波清洗有以下优点：1）清洗效果好，清洗手续简单，减少了由于复杂的化学清洗过程中而带来的杂质的可能性；2）对一些形状复杂的容器或器件也能清洗。超声波产生的原理：高频震荡器产生超声频电流，传给换能器，当换能器产生超声震动时，超声震动就通过与换能器连接的液体容器底部而传播到液体内，在液体中产生超声波超声波清洗的缺点是当超声波的作用较大时，由于震动磨擦，可能使硅片表面产生划道等损伤。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种鼓泡与超声波相结合的太阳能硅片的清洗装置，设置鼓泡器和鼓泡管，促进清洗槽内清洗液的流动，增加清洗液与太阳能硅片的接触面积，从而提高清洗效率，相比于单一的超声波清洗装置，该装置所需要的超声波功率小，超声与鼓泡相结合确保清洗效率；为减少太阳能硅片的震动摩擦，该清洗装置配置有清洗花篮。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能硅片的清洗装置，包括工装篮搁架、清洗槽和底架，两个工装篮搁架分别设置在清洗槽的两端，清洗槽内包括鼓泡超声清洗槽和超声清洗槽，超声清洗槽和超声清洗槽内均设有超声波发生器，清洗槽分为三段，依次分别为第一段的两个鼓泡超声清洗槽、第二段的两个超声清洗槽和第三段的两个鼓泡超声清洗槽，第一段和第三段均分别设有一个鼓泡器，且鼓泡超声清洗槽的周围绕有鼓泡管；第二段的两个超声清洗槽之间设有电加热管；还包括放置在工装篮搁架内的清洗花篮，清洗花篮包括两块固定板，一块固定板上开设有圆形孔，另一块固定板上开设有U形孔，圆形孔内的设置是便于太阳能硅片推杆穿过圆形孔伸入到清洗花篮内，推动悬挂在清洗花篮内的太阳能硅片至靠近另一块固定板一侧；而U形孔的设置则是方便从上方取出靠近该固定板侧的太阳能硅片，两块固定板上均设有定位孔，定位孔的设置则是为了使清洗花篮放入工装篮搁定位准确，便于清洗花篮进入到清洗槽后的固定且不易晃动；固定板之间由上中下三层悬挂固定杆相连接，每层设有两根悬挂固定杆，悬挂固定杆上设有弧形突起。

优选的，清洗槽的底部还设有过滤筛板。

优选的，过滤筛板的网孔为圆形、方形、三角形的一种。

优选的，过滤筛板的网孔为蜂窝状，过滤滤渣进入蜂窝状网孔中，蜂窝状网孔可起到暂存滤渣的作用，减少滤渣在清洗过程中随清洗液的震荡和流动而掀起滤渣在清洗液中翻滚污染清洗液，待蜂窝状网孔已满时可集中清洗过滤筛板，清除滤渣。

优选的，过滤筛板为二氧化硅陶瓷板。

优选的，过滤筛板上安装有滤渣清理机构。

优选的，滤渣清理机构包括清扫耙、传动机构和推拉杆。