[实用新型]一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备

说明书

本实用新型公开了一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备，包括机体、位于所述机体内部的干燥腔，所述干燥腔内部设置有干燥滑板，所述干燥腔下方设置有风源加热腔，所述风源加热腔下方设置有均压腔，所述机体一侧安装有气泵，所述气泵上方设置有干燥箱，所述干燥箱与所述干燥腔顶部连通，所述气泵一次设置有氮气瓶；所述干燥腔内部设置有与所述干燥滑板滑动配合的导轨板。有益效果在于：本实用新型通过对碳化硅粉的密封加热和采用氮气进行循环除湿，避免了碳化硅粉在干燥过程中与外界空气接触，防止了碳化硅氧化，提高提高了碳化硅的干燥效果；通过对氮气加热循环，减少了设备的热量消耗，降低了设备的能耗。

技术领域

本实用新型涉及氮化硅微粉生产加工设备领域，具体涉及一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备。

背景技术

碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好，被广泛的应用于太阳能晶硅片、半导体硅片和石英芯片的线切割刃料。在碳化硅材料进行粉碎时，初级产品由于含有碳、氧化铁、氧化铝等杂质，故需要进一步用酸碱等地洗料液清洗过滤去杂质提纯，再将混批号的物料沉降，通过不同的沉降时间将不同批号的物料分离。在分离时，需要对碳化硅表面的水分进行去除，以便于碳化硅粉的保存。

本申请人发现现有技术中至少存在以下技术问题：现有的碳化硅粉烘干设备通常为直接加热型，即通过热辐射对碳化硅进行加热，从而去除碳化硅表面的水分，在加热过程中，碳化硅与氧气接触后存在氧化风险，容易影响碳化硅粉的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备，以解决现有技术中现有的碳化硅粉烘干设备通常为直接加热型，即通过热辐射对碳化硅进行加热，从而去除碳化硅表面的水分，在加热过程中，碳化硅与氧气接触后存在氧化风险，容易影响碳化硅粉的质量等技术问题。本实用新型提供的诸多技术方案中优选的技术方案具有：能够通过对碳化硅粉的密封加热和采用氮气进行循环除湿，避免了碳化硅粉在干燥过程中与外界空气接触，防止了碳化硅氧化，提高提高了碳化硅的干燥效果等技术效果，详见下文阐述。

为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备，包括机体、位于所述机体内部的干燥腔，所述干燥腔内部设置有干燥滑板，所述干燥腔下方设置有风源加热腔，所述风源加热腔下方设置有均压腔，所述机体一侧安装有气泵，所述气泵上方设置有干燥箱，所述干燥箱与所述干燥腔顶部连通，所述气泵一次设置有氮气瓶；

所述干燥腔内部设置有与所述干燥滑板滑动配合的导轨；

所述干燥腔顶部通过蒸汽输出管与所述干燥箱相连通；

所述干燥滑板与所述机体外壁的连接处设置有磁吸垫板；

所述风源加热腔内部安装有加热网板。

采用上述一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备，通过所述氮气瓶和所述气泵向所述干燥腔内部填充氮气，而后将所述干燥滑板沿所述导轨送入所述干燥腔内部后，接通所述加热网板电源，所述均压腔内部的氮气在经过所述加热网板时进行加热，而后进入所述干燥腔内部对所述干燥滑板上的碳化硅粉进行吹风干燥，产生的蒸汽经所述蒸汽输出管进入所述干燥箱内部进行除湿，而后再次进入所述气泵进行循环。

作为优选，所述干燥箱与所述气泵相连通，所述气泵与所述氮气瓶相连通。

作为优选，所述干燥滑板包括位于所述机体外侧的拉板和位于所述干燥腔内部的料斗。

作为优选，所述磁吸垫板位于所述拉板与所述机体的接触面，且通过粘接固定在所述拉板上。

作为优选，所述干燥箱内部设置有可拆卸的干燥剂包。

作为优选，所述加热网板共设置有两层。