[实用新型]一种微动平台

权利要求书

1.一种微动平台，包括基座、其特征在于，所述基座上设置有穿过所述基座的上表面和下表面的通槽，所述通槽将所述基座分为运动体和固定体，所述通槽包括X向通槽、将所述X向通槽围合的Y向通槽，所述基座的第一相对两边上设置有沿X向延伸的第一凹槽和第二凹槽，所述基座的第二相对两边上设置有沿Y向延伸的第三凹槽和第四凹槽，所述第一凹槽和第三凹槽内设有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器的两端设置有推力半球，所述第二凹槽和所述第四凹槽内设有微调螺纹副驱动组件，所述微调螺纹副组件包括设置在所述固定体上的微调螺纹副、与所述运动体铰接的柔性铰链机构、分别作用于所述微调螺纹副和柔性铰链机构的折叠弹片及用于导向所述折叠弹片的导向机构，所述导向机构包括设置在所述固定体上的导向槽、滚动设置在所述导向槽内的导向块，所述导向块上设置有嵌设所述折叠弹片的定位槽。

2.如权利要求1所述的微动平台，其特征在于，各所述凹槽内还设置有用于检测运动体产生位移的直线光栅。

3.如权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述X向通槽与所述Y向通槽间隔设置，所述X向通槽包括一组开口相对设置的第一U型槽和第二U型槽，所述Y向通槽包括开口相对设置的第三U型槽和第四U型槽。

4.如权利要求3所述的微动平台，其特征在于，各所述U型槽均包括一横部和竖部，所述竖部垂直设置于所述横部的两端，且所述横部的长度大于所述竖部的长度。

5.如权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述第一凹槽长度方向的延长线和所述第三凹槽长度方向的延长线交于所述基座的中心，所述第二凹槽长度方向的延长线和所述第四凹槽长度方向的延长线交于所述基座的中心。

6.如权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述微调螺纹副的安装中心与折叠弹片的受力中心在同一轴线上。

7.如权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述基座的侧壁上开设有多个电线保护套。