[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉，包括用于支撑坩埚的底板和设置在所述底板四周的侧板，所述底板和/或侧板上设置有溢流孔，所述溢流孔处设置有第一溢流丝，还包括在所述第一溢流丝熔断时报警的报警装置。在该多晶硅铸锭炉中，当溢流孔流出的溢流硅液数量比较少时，也会在流经溢流孔后再流出，所以能够有效地保证溢流出的溢流硅液经过第一溢流丝，有效保证报警装置及时报警响应。综上所述，该多晶硅铸锭炉能够有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅制造技术领域，更具体地说，涉及一种多晶硅铸锭炉。

背景技术

现有使用的多晶硅铸锭炉中，用于支撑石英坩埚都是由一块底板和四块侧板构成。当发生溢流硅液溢流时，溢流硅液通过底板四周和侧板底部的溢流口流到炉底的溢流棉上导致溢流丝熔断，触发溢流报警。

但是此装置会使存在炉底的溢流棉发生破损未被发现，导致溢流硅液触碰炉底壁引发事故；当溢流量较少时由于底板和侧板有一定空间，导致溢流硅液未及时流向炉底，推迟溢流报警时间。

综上所述，如何有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种多晶硅铸锭炉，该多晶硅铸锭炉可以有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多晶硅铸锭炉，包括用于支撑坩埚的底板和设置在所述底板四周的侧板，所述底板和/或侧板上设置有溢流孔，所述溢流孔处设置有第一溢流丝，还包括在所述第一溢流丝熔断时报警的报警装置。

优选地，还包括位于所述底板下侧且位于炉底的溢流棉，所述溢流棉上设置有第二溢流丝，所述报警装置能够在所述第二溢流丝熔断时报警。

优选地，各个所述侧板的下端面与所述底板的上侧面之间均具有间隙以形成所述溢流孔，在所述底板的四周围绕有所述第一溢流丝。

优选地，所述底板的四周设置有竖直贯穿所述底板设置且位于所述侧板内侧的所述溢流孔。

优选地，所述侧板的下侧开设有沿侧板厚度方向延伸且横截面呈半圆型的开槽，所述开槽与所述底板之间构成所述溢流孔。

优选地，所述第一溢流丝设置在所述侧板内侧且沿所述底板周向延伸并依次经过各个所述溢流孔。

优选地，竖直设置的所述溢流孔上端孔沿周向围绕有所述第一溢流丝。

本实用新型提供的一种多晶硅铸锭炉，具体的该多晶硅铸锭炉包括炉体、底板、侧板、第一溢流丝和报警装置。其中炉体内设置有炉腔，而其中底板用于支撑坩埚。还设置有溢流孔，以当坩埚内的硅液溢流时，溢流硅液会从坩埚外侧，进一步的从溢流孔流出。在溢流孔处设置有第一溢流丝，其中报警装置在第一溢流丝熔断时报警。

根据上述的技术方案，可以知道，在该多晶硅铸锭炉中，在溢流孔处设置了第一溢流丝，使得当坩埚溢流出来的溢流硅液经过溢流孔时，就会造成第一溢流丝熔断。首先反应比较迅速，即在溢流硅液未流出侧板和底板外侧时，报警装置就响起报警。而且当溢流孔流出的溢流硅液数量比较少时，也会在流经溢流孔后再流出，所以能够有效地保证溢流出的溢流硅液经过第一溢流丝，有效保证报警装置及时报警响应。综上所述，该多晶硅铸锭炉能够有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。